垂直方向微位移驱动装置

    公开(公告)号:CN2586290Y

    公开(公告)日:2003-11-12

    申请号:CN02281261.X

    申请日:2002-11-18

    Abstract: 垂直方向微位移驱动装置,它涉及一种产生垂直方向微移动的装置。它由顶紧装置(5)、压电陶瓷(3)、驱动器组成;驱动器由底座、设置在底座正上方中间位置的平台、以及分别位于平台和底座两侧并相对平台和底座的中心线左右对称设置的两条小臂和两条大臂组成,底座、平台、大臂、小臂为一体结构,平台与左右小臂、左右小臂与左右大臂、左右大臂与底座之间各设有一对柔性铰链,而且每对柔性铰链相互左右对称设置;压电陶瓷设置在底座上,左右对称设置的顶紧装置分别安装在两条大臂上,两个顶紧装置与压电陶瓷的两侧紧密接触。它解决了现有的能放大的微移动装置在位移时存在偏转的问题。

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