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公开(公告)号：CN109182970A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201811229099.7
申请日：2018-10-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种热氧化铝氮共掺碲化锌薄膜制备p-型氧化锌的方法，属于半导体光电技术领域。本发明首先制备铝氮共掺杂碲化锌薄膜，之后通过热氧化的方法得到p-型氧化锌。本发明解决了p-型氧化锌掺杂时存在的自补偿效应、受主的固溶率低、受主在氧化锌中不稳定的问题。本发明有益于制备高稳定性、重复性佳、高质量的p-型氧化锌材料。研究结果表明获得的p-型氧化锌在紫外探测领域表现出深广的应用前景。
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