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公开(公告)号：CN112345795A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN202011238916.2
申请日：2020-11-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明提供了一种加速度计，涉及微机电系统领域。所述加速度计包括：上基板和敏感层，所述上基板包括衬底和介质层，所述介质层设置在所述衬底上且靠近所述敏感层，所述介质层与所述敏感层之间设置有间隔层，所述间隔层的厚度大于所述介质层的厚度，小于所述敏感层的厚度。这样，通过在介质层和敏感层之间设置有间隔层，且将间隔层的厚度设置为大于所述介质层的厚度，小于所述敏感层的厚度，使得在一定程度上能够加大了介质层和敏感层之间的间距，从而可以降低电离辐照诱导的氧化物俘获正电荷因库伦作用对敏感层电容的影响，增大了加速度计的抗辐照加固性能。
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