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公开(公告)号：CN117420102B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202311743458.1
申请日：2023-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明属于航天等离子体推进领域，本发明公开了光学在线监测装置及发射体寿命快速评估方法。在空心阴极正常工作的状态下，对羽流出口区的主要侵蚀产物硼原子进行在线监测辨别，识别硼原子的发射谱线；采集阴极正常工作状态下工质气体氩的两条发射谱线；通过谱线比的方式确定等离子体中的电子温度Te；通过氩硼谱线比的方式确定硼原子的气相密度#imgabs0#；联合空心阴极内部的气体流速v和计算出的侵蚀产物硼原子的气相密度，对发射体的侵蚀速率进行计算，进而对发射体寿命进行预估。本发明针对以往长时间高昂贵的寿命评估实验大量耗费人力物力的问题。
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公开(公告)号：CN117457467A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311743459.6
申请日：2023-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
IPC: H01J37/32
Abstract: 一种等离子体腔室阵列成像监测装置及空间不均匀性校准方法，涉及半导体刻蚀技术领域，解决的技术问题为“开发一种实时监测等离子体放电状态的装置，并对其空间不均匀性进行评估校准”，装置包括：腔室、第一成像监测模块和第二成像监测模块，所述第二成像监测模块与所述第一成像监测模块的轴线垂直；方法包括：通过所述等离子体腔室阵列成像监测装置采集积分光强；基于所述积分光强计算腔室内视线交点光强；通过所述视线交点光强与所述先验分布拟合求解最优分布系数，得到等离子体二维空间分布；评估所述等离子体二维空间分布的不均匀性并校准；该装置及方法通过设置两组相互垂直的光纤形成视线交点，对等离子体不均匀性进行精确的评估校准。
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公开(公告)号：CN118555722A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410877284.6
申请日：2024-07-02
Applicant: 北京东方计量测试研究所 , 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了一种结合光谱和红外成像的离子推力器推力状态在轨监测装置及方法，属于航天等离子体推进技术领域，离子推力器安装在人造卫上，红外相机和多光谱相机通过机械手与人造卫星相连，所述红外相机和多光谱相机可以通过机械手移动，以充分获取离子推力器栅极的温度信息和等离子体密度信息；首先使用红外相机和多光谱相机拍摄图像；根据得到的红外相机图像计算栅极温度；根据多光谱相机图像计算等离子密度；计算离子透明度和离子电流；最后计算并分析离子推力器的推力状态；本发明的方法对推力器本身无干扰，可以实现卫星的空间在轨使用，从而监测离子推力器推力状态的天地不一致性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111038741B
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN201911418861.0
申请日：2019-12-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B64G1/40
Abstract: 百瓦级航天电推进空心阴极结构，属于霍尔推力器领域，本发明提供一种低功耗、低重量、小尺寸要求的百瓦级小霍尔推力器制造工艺。本发明包括阴极管、发射体、石墨环、钨顶、加热丝、隔热屏和触持极；阴极管内并列设置发射体和钨顶，阴极管内设置内凸台对发射体进行轴向定位，通过发射体与阴极管之间设置的石墨环对发射体进行径向定位；阴极管外壁缠绕加热丝，加热丝与触持极之间设置隔热屏。
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公开(公告)号：CN117457467B
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202311743459.6
申请日：2023-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
IPC: H01J37/32
Abstract: 一种等离子体腔室阵列成像监测装置及空间不均匀性校准方法，涉及半导体刻蚀技术领域，解决的技术问题为“开发一种实时监测等离子体放电状态的装置，并对其空间不均匀性进行评估校准”，装置包括：腔室、第一成像监测模块和第二成像监测模块，所述第二成像监测模块与所述第一成像监测模块的轴线垂直；方法包括：通过所述等离子体腔室阵列成像监测装置采集积分光强；基于所述积分光强计算腔室内视线交点光强；通过所述视线交点光强与所述先验分布拟合求解最优分布系数，得到等离子体二维空间分布；评估所述等离子体二维空间分布的不均匀性并校准；该装置及方法通过设置两组相互垂直的光纤形成视线交点，对等离子体不均匀性进行精确的评估校准。
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公开(公告)号：CN117420102A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202311743458.1
申请日：2023-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明属于航天等离子体推进领域，本发明公开了光学在线监测装置及发射体寿命快速评估方法。在空心阴极正常工作的状态下，对羽流出口区的主要侵蚀产物硼原子进行在线监测辨别，识别硼原子的发射谱线；采集阴极正常工作状态下工质气体氩的两条发射谱线；通过谱线比的方式确定等离子体中的电子温度Te；通过氩硼谱线比的方式确定硼原子的气相密度；联合空心阴极内部的气体流速v和计算出的侵蚀产物硼原子的气相密度，对发射体的侵蚀速率进行计算，进而对发射体寿命进行预估。本发明针对以往长时间高昂贵的寿命评估实验大量耗费人力物力的问题。
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公开(公告)号：CN119000091A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202410877304.X
申请日：2024-07-02
Applicant: 北京东方计量测试研究所 , 哈尔滨工业大学
Abstract: 霍尔推力器地面打火过程监测方法及装置，涉及空间飞行器设备监测技术领域。为解决现有技术中存在的，现有霍尔推力器打火过程监测方法，无法捕捉到打火过程中的细节和快速变化的技术问题，本发明提供的技术方案为：方法包括：采集真空罐内，霍尔推力器打火发生位置和空间演化规律；采集霍尔推力器打火时光束，将光束按预设波长范围进行分离，并分别采集不同波长的光强以及时间演化规律；采集霍尔推力器远场羽流的离子电流密度和束流发散角；根据打火发生位置和空间演化规律、不同波长的光强，以及离子电流密度和束流发散角，得到打火现象对等离子体参数的影响。可以应用于对霍尔推力器打火过程进行光电联合监测。
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公开(公告)号：CN111038741A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911418861.0
申请日：2019-12-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B64G1/40
Abstract: 百瓦级航天电推进空心阴极结构，属于霍尔推力器领域，本发明提供一种低功耗、低重量、小尺寸要求的百瓦级小霍尔推力器制造工艺。本发明包括阴极管、发射体、石墨环、钨顶、加热丝、隔热屏和触持极；阴极管内并列设置发射体和钨顶，阴极管内设置内凸台对发射体进行轴向定位，通过发射体与阴极管之间设置的石墨环对发射体进行径向定位；阴极管外壁缠绕加热丝，加热丝与触持极之间设置隔热屏。
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