-
公开(公告)号：CN120006379A
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202510215299.0
申请日：2025-02-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C30B19/06
Abstract: 本发明提供了一种用于液相外延的可调节衬底夹具及其使用方法，涉及液相外延生长设备技术领域，该用于液相外延的可调节衬底夹具，能够适用不同尺寸的衬底夹持，包括基板，基板上开有至少三个通孔；通孔的轴线均位于同一圆柱的侧面上；每个通孔内均设置有一个钳腿；钳腿包括第一段腿和第二段腿，第一段腿可转动的贯穿设置在相应的通孔内，第一段腿的一端和第二段腿的一端相互连接；第二段腿的另一端与相应的通孔轴线错开，所有第二段腿的另一端一起用于夹持衬底；基板上设置有旋转板，旋转板与各个钳腿分别传动连接，且通过绕圆柱的轴线转动旋转板，使得钳腿分别在相应的通孔内作相同的转动。
Search Results
1
records
(took 0.013 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
