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公开(公告)号：CN103528508B
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201310475890.7
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 形貌补偿式双光轴角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪两条测量光束穿过双轴中空激光干涉镜组的中间通孔，两条被校准激光干涉仪测量光束平行置于两条平行标准测量光束中间位置；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近；目标反射镜反射面表面形貌造成的测量位移误差补偿到角位移测量结果中，保证角位移测量值的准确性。
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公开(公告)号：CN103528510B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201310475922.3
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 四光轴补偿及气浴式角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪四条测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔，四条被校准激光干涉仪测量光束平行置于四条平行标准测量光束中间位置；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近；气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布，使标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值更加接近；目标反射镜反射面表面形貌造成的测量位移误差补偿到角位移测量结果中，保证角位移测量值的准确性。
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公开(公告)号：CN103499291B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201310475918.7
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于四标准光轴气浴的角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪四条测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔，四条被校准激光干涉仪测量光束平行置于四条平行标准测量光束中间位置；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近；气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布，使标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值更加接近。
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公开(公告)号：CN103499283B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201310475536.4
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于双标准光轴的线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过双轴中空激光干涉镜组的中间通孔，被校准激光干涉仪测量光束平行置于两条平行标准测量光束中间位置处；在垂直于两条标准测量光束的平面内，由两条标准测量光束在该平面投影点构成的线段区域中，两条标准测量光束和被校准激光干涉仪测量光束受环境干扰的程度差异很小，两条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值。
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公开(公告)号：CN103499291A
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN201310475918.7
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于四标准光轴气浴的角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪四条测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔，四条被校准激光干涉仪测量光束平行置于四条平行标准测量光束中间位置；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近；气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布，使标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值更加接近。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103499281A
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN201310475513.3
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 四光轴回位及气浴式线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术，本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔，被校准激光干涉仪测量光束平行置于以正四棱柱侧棱形式分布的四条平行标准测量光束中心位置处；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，四条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；气浴装置形成的稳定气浴环境使四条标准测量光束的空气折射率平均值更接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；微动装置根据四个光束位置探测器测量出衍生位移的平均值，对目标反射镜进行实时回位补偿，保证目标反射镜反射面上测量光束入射位置不发生变化。
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公开(公告)号：CN103499283A
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN201310475536.4
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于双标准光轴的线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过双轴中空激光干涉镜组的中间通孔，被校准激光干涉仪测量光束平行置于两条平行标准测量光束中间位置处；在垂直于两条标准测量光束的平面内，由两条标准测量光束在该平面投影点构成的线段区域中，两条标准测量光束和被校准激光干涉仪测量光束受环境干扰的程度差异很小，两条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值。
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公开(公告)号：CN103528526B
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201310475524.1
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 形貌补偿式三光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过三轴中空激光干涉镜组的中间通孔，被校准激光干涉仪测量光束平行置于以正三棱柱侧棱形式分布的三条平行标准测量光束中心位置处；在垂直于三条标准测量光束的平面内，由三条标准测量光束在该平面投影点构成的等边三角形区域中，三条标准测量光束和被校准激光干涉仪测量光束受环境干扰的程度差异很小，三条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；目标反射镜反射面表面形貌造成的测量误差补偿到线位移测量结果中，保证线位移测量值的准确性。
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公开(公告)号：CN103499282B
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201310475522.2
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 三光轴回位及气浴式线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术，本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过三轴中空激光干涉镜组的中间通孔，被校准激光干涉仪测量光束平行置于以正三棱柱侧棱形式分布的三条平行标准测量光束中心位置处；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离小，三条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；气浴装置形成的稳定气浴环境使三条标准测量光束的空气折射率平均值更接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；微动装置根据三个光束位置探测器测量出衍生位移平均值，对目标反射镜进行实时回位补偿，保证目标反射镜反射面上测量光束入射位置不发生变化。
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公开(公告)号：CN103499290A
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN201310475899.8
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 双光轴回位及气浴式角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术，本发明将被校准激光干涉仪两条测量光束穿过双轴中空激光干涉镜组的中间通孔，两条被校准激光干涉仪测量光束平行置于两条平行标准测量光束中间位置；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近；气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布，标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值更接近；微动装置根据两个光束位置探测器测量出衍生位移的平均值，对目标反射镜进行实时回位补偿，使目标反射镜反射面上测量光束入射位置不发生变化。
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