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公开(公告)号：CN119800279A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202411973797.3
申请日：2024-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种预离化空心阴极管内放电在细长管筒件内壁快速均匀沉积薄膜的装置及使用方法。它属于表面处理领域。它解决了空心阴极靶变形失效以及难以在细长管筒件内壁均匀而快速沉积大厚度薄膜的问题。装置中包括预离化电源、预离化离子源和阳极环构成的预离化装置；预离化离子源、阳极环、空心阴极靶材、细长管筒件和阳极杆同轴设置。本发明通过设置预离化离子源，降低了空心阴极靶材放电难度，提高了空心阴极靶材放电强度，减少了空心阴极靶材端口热输入，避免了端口过热变形失效，进而提高了薄膜的沉积速率，通过往复机构带动细长管筒件与空心阴极靶材放电区域的相对运动，实现了细长管筒件内等离子体放电和均匀而快速沉积大厚度薄膜的问题。
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