公开(公告)号：CN104567696A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201510021664.0

申请日：2015-01-09

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陆振刚 ,  谭久彬 ,  魏培培 ,  敬嘉雷

IPC: G01B11/02

Abstract: 一种基于衍射光栅的二维位移测量装置涉及一种超精密位移测量技术及光栅位移测量系统，由标尺光栅和读数头两部分组成，读数头包括光源、分光部件、扫描分光光栅部件、X向探测部件、Z向探测部件、信号处理部件；该装置基于迈克尔逊干涉仪原理和多衍射光栅干涉原理实现了X向和Z向位移的同时测量，具有结构简单紧凑、体积小、抗干扰能力强以及X向和Z向测量不耦合等优点，能够实现纳米甚至更高测量分辨力，可应用于多自由度高精度位移测量。

公开(公告)号：CN104567696B

公开(公告)日：2017-06-13

申请号：CN201510021664.0

申请日：2015-01-09

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陆振刚 ,  谭久彬 ,  魏培培 ,  敬嘉雷

IPC: G01B11/02

Abstract: 一种基于衍射光栅的二维位移测量装置涉及一种超精密位移测量技术及光栅位移测量系统，由标尺光栅和读数头两部分组成，读数头包括光源、分光部件、扫描分光光栅部件、X向探测部件、Z向探测部件、信号处理部件；该装置基于迈克尔逊干涉仪原理和多衍射光栅干涉原理实现了X向和Z向位移的同时测量，具有结构简单紧凑、体积小、抗干扰能力强以及X向和Z向测量不耦合等优点，能够实现纳米甚至更高测量分辨力，可应用于多自由度高精度位移测量。