-
公开(公告)号：CN115431047B
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202211261158.5
申请日：2022-10-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种复合式超精密加工机床，所述机床包括X轴组件、C轴组件、Z1轴组件、Z2轴组件、B轴组件、C轴组件、机床基座以及隔振支承部件，其中：所述机床基座布置在隔振支承部件上；所述机床基座上设置有X轴组件、Z1轴组件以及Z2轴组件；所述Z1轴与Z2轴平行布置，与X轴垂直；所述C轴安装在X轴上，呈卧式布置；所述B轴安装在Z1轴上，呈立式布置。该超精密加工机床整体结构较为紧凑，通过不同轴之间的联动可实现多种形式的加工，在大大减小制造成本的同时大大增加了其应用范围。
-
公开(公告)号：CN115596767A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202211219452.X
申请日：2022-09-30
Applicant: 哈尔滨工业大学(CN)
Abstract: 一种带有磁流体阻尼器的气体静压转台，属于超精密装备制造技术领域。为了提高气体静压转台的抗干扰能力。所述轴套上设置有气路总成，所述气路总成供气后，使上辐板下表面与轴套的上表面之间形成了上止推轴承，所述轴套的下表面与下辐板的上表面之间形成了下止推轴承，所述轴套内圆柱表面与主轴转子的外圆柱表面形成了径向轴承。本发明通过在下部增添磁流变阻尼器从而达到了对所设计气体静压转台的阻尼可控，可使转台实现快速启动与停止、高速旋转以及配合位置反馈元件实现超高精度定位等多种优良功能，大大提高了整体气体静压转台的抗干扰能力。
-
公开(公告)号：CN115586707A
公开(公告)日：2023-01-10
申请号：CN202211215632.0
申请日：2022-09-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种高回转精度的开式平面静压气浮转台，属于超精密加工装备领域，具体方案如下：一种高回转精度的开式平面静压气浮转台，包括主轴转子、轴套和底座，轴套固定在底座上，主轴转子包括平台和设置在平台下表面中部的半球结构，轴套的上表面中部设置有容纳半球结构的凹槽Ⅰ，半球结构与凹槽Ⅰ形成半球轴承，轴套的上表面与平台的下表面形成止推轴承，从而形成一开式气浮轴承结构，配合表面节流的形式，使得本发明整体结构简单，加工制造方便，容易达到较高的精度。通过调节主轴转子及其负载的重力配合调节真空气路中的真空度来对气浮轴承施加一定预载，使得两个轴承面在气膜间隙合适的情况下达到一个最优刚度与承载的匹配，并具有较好的鲁棒性。
-
公开(公告)号：CN115431047A
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202211261158.5
申请日：2022-10-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种复合式超精密加工机床，所述机床包括X轴组件、C轴组件、Z1轴组件、Z2轴组件、B轴组件、C轴组件、机床基座以及隔振支承部件，其中：所述机床基座布置在隔振支承部件上；所述机床基座上设置有X轴组件、Z1轴组件以及Z2轴组件；所述Z1轴与Z2轴平行布置，与X轴垂直；所述C轴安装在X轴上，呈卧式布置；所述B轴安装在Z1轴上，呈立式布置。该超精密加工机床整体结构较为紧凑，通过不同轴之间的联动可实现多种形式的加工，在大大减小制造成本的同时大大增加了其应用范围。
-
公开(公告)号：CN115899083B
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202211651443.8
申请日：2022-12-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种大气等离子体抑制微振的气体静压轴承，属于超精密加工装备领域，具体方案如下：一种大气等离子体抑制微振的气体静压轴承，包括轴套、铜轴套、主轴转子、辐板和大气等离子体激发装置，所述铜轴套套设在主轴转子上，所述轴套套设在铜轴套上，所述辐板套设在主轴转子上且与轴套固定连接，轴套和辐板上设置的气路通过若干个小孔节流器为主轴转子的表面供气，所述主轴转子、轴套和辐板的材质均导电，所述大气等离子体激发装置的一端电连接主轴转子，另一端电连接轴套和辐板。本发明从微振产生的机理上消除了微振及其影响，大大提高了气浮轴承在工作时的稳定性。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117067041A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311038517.5
申请日：2023-08-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种晶圆减薄机磨削主轴中心供液非接触式气密封结构，涉及一种气密封结构。减薄机转子经减薄机底座预设中心孔伸出，内部中空作为磨削液通道，气封安装座固定在减薄机底座外侧端，气封块胶接固定在气封安装座内底部，内环面中间位置加工环向沟槽，侧壁贯通径向供气通道一，气封安装座侧壁对应位置贯通径向供气通道二，气封块与减薄机转子的伸出端之间留有间隙，外部气源供入能够形成上气膜和下气膜，磨削液通入座螺栓固定在气封安装座内顶部，内部向上延伸设置供液通道，供液通道下端伸入磨削液通道内。在气封块与减薄机转子之间形成稳定的高压气膜，提高设备运行的稳定性以及加工精度的可靠性，结构简单，易于维护。
-
公开(公告)号：CN117052792A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202311019269.X
申请日：2023-08-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16C32/06
Abstract: 一种表面节流的低流量高刚度气浮轴承及其工作方法，属于超精密加工领域。所述浮子组件的外侧套装有外壳体，浮子组件与外壳体之间设有通气孔缝，所述外壳体侧壁的中部设有进气孔，所述进气孔与通气孔缝连通设置。方法如下：高压气体通过进气孔进入环形孔缝形成润滑气膜；经过润滑气膜的减压后流出。本发明加工难度低，供气设计要求低，避开了以往气浮轴承加工制造以及装配的难点，在浮子组件表面形成均匀润滑气膜，刚度高，耗气量小，气动噪声小。
-
公开(公告)号：CN115586707B
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202211215632.0
申请日：2022-09-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种高回转精度的开式平面静压气浮转台，属于超精密加工装备领域，具体方案如下：一种高回转精度的开式平面静压气浮转台，包括主轴转子、轴套和底座，轴套固定在底座上，主轴转子包括平台和设置在平台下表面中部的半球结构，轴套的上表面中部设置有容纳半球结构的凹槽Ⅰ，半球结构与凹槽Ⅰ形成半球轴承，轴套的上表面与平台的下表面形成止推轴承，从而形成一开式气浮轴承结构，配合表面节流的形式，使得本发明整体结构简单，加工制造方便，容易达到较高的精度。通过调节主轴转子及其负载的重力配合调节真空气路中的真空度来对气浮轴承施加一定预载，使得两个轴承面在气膜间隙合适的情况下达到一个最优刚度与承载的匹配，并具有较好的鲁棒性。
-
公开(公告)号：CN115523231B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202211132054.4
申请日：2022-09-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种径向轴承分区域供气的高回转精度大承载气体静压轴承，属于超精密装备制造技术领域，具体方案如下：一种径向轴承分区域供气的高回转精度大承载气体静压轴承，包括主轴转子、轴套和底座，所述轴套套设在主轴转子上并固定在底座上，所述轴套上沿圆周方向均布设置若干个轴向气道Ⅰ，每个轴向气道Ⅰ上均布设置有若干个径向气道Ⅰ，所述若干个径向气道Ⅰ与对应的轴向气道Ⅰ连通，每个径向气道Ⅰ近主轴转子的一端均设置有节流器Ⅰ，对轴向气道Ⅰ自底部至顶部的供气压力逐步减小。本发明在实际应用中可以通过微调各区域供气源的供气压力使得主轴转子在工作过程中实现较高的回转精度，并且整个主轴的承载能力可提高2倍以上。
-
公开(公告)号：CN114909399B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202210674742.7
申请日：2022-06-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种抗倾覆载荷的大承载气浮主轴结构，属于超精密装备制造技术领域，具体方案如下：一种抗倾覆载荷的大承载气浮主轴结构，包括主轴、轴套Ⅰ、前辐板、后辐板和底座，轴套Ⅰ套设在主轴的外侧并固定在底座上，前辐板中部开设有通孔Ⅰ，后辐板中部开设有通孔Ⅱ，主轴的前、后两端分别套设在通孔Ⅰ和通孔Ⅱ中，通孔Ⅰ的侧壁上开设半圆环形的气道Ⅰ，通孔Ⅱ的侧壁上开设半圆环形的气道Ⅱ，气道Ⅰ和气道Ⅱ分别位于主轴中轴线的下方和上方，前辐板上开设有进气孔，后辐板上设置有进气孔Ⅱ，所述进气孔Ⅰ与进气孔Ⅱ分别与气道Ⅰ与气道Ⅱ连通。本发明提高了气浮主轴的整体承载能力、刚度、回转精度以及抗倾覆能力，加工出的零件精度更高。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
18
records
(took 0.031 seconds)
