公开(公告)号：CN101413101B

公开(公告)日：2011-06-15

申请号：CN200810209523.1

申请日：2008-11-26

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 梁军 ,  史国栋 ,  陈贵清

IPC: C23C14/28 ,  C23C14/14 ,  C23C14/08 ,  B32B15/04 ,  B32B18/00

Abstract: 本发明提供一种金属/陶瓷微叠层材料及其制备方法。采用电子束物理气相沉积技术，通过电子枪交替蒸发金属和陶瓷靶材来制备的。陶瓷层厚度为1μm，金属层厚度为10～35μm。金属层和陶瓷层的体积分数比即厚度即层厚比为10～35。所用的金属靶材为Ni-20Co-12Cr-4Al(wt％)，陶瓷靶材为含8wt％Y2O3的ZrO2(YSZ)。金属/陶瓷微叠层材料具有大层厚比，因此该材料能在很大程度上保持金属材料的韧性好的特点。同时，叠层结构的存在，限制了金属层中柱状晶的长大，减少了裂纹沿金属晶界扩展的可能性。与单层EB-PVD金属薄板相比，该微叠层材料中的金属层发生脆性沿晶断裂的几率更小，金属层强度更高。

公开(公告)号：CN101413101A

公开(公告)日：2009-04-22

申请号：CN200810209523.1

申请日：2008-11-26

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 梁军 ,  史国栋 ,  陈贵清

IPC: C23C14/28 ,  C23C14/14 ,  C23C14/08 ,  B32B15/04 ,  B32B18/00

Abstract: 本发明提供一种金属/陶瓷微叠层材料及其制备方法。采用电子束物理气相沉积技术，通过电子枪交替蒸发金属和陶瓷靶材来制备的。陶瓷层厚度为1μm，金属层厚度为10～35μm。金属层和陶瓷层的体积分数比即厚度即层厚比为10～35。所用的金属靶材为Ni－20Co－12Cr－4Al(wt％)，陶瓷靶材为含8wt％Y2O3的ZrO2(YSZ)。金属/陶瓷微叠层材料具有大层厚比，因此该材料能在很大程度上保持金属材料的韧性好的特点。同时，叠层结构的存在，限制了金属层中柱状晶的长大，减少了裂纹沿金属晶界扩展的可能性。与单层EB－PVD金属薄板相比，该微叠层材料中的金属层发生脆性沿晶断裂的几率更小，金属层强度更高。