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公开(公告)号:CN109579744B
公开(公告)日:2021-01-12
申请号:CN201811479842.4
申请日:2018-12-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 基于光栅的跟随式三维光电自准直方法与装置属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域;本发明采用一维反射光栅作为敏感器件,一维透射光栅作为光路校正器件,保证待测光束与入射光束光轴平行,在实现高精度三维角度变化量测量的同时,极大的增加了测量系统的工作距离,同时使整个测量系统更加紧凑;同时为了避免俯仰角与旋转角由于彼此耦合而限制该两方向的角度变化量测量范围,采用跟随式补偿测量方法与装置,在解除俯仰角的测量范围限制的同时,提高了旋转角的测量范围;本发明解决了现有方法与装置中的不足,实现了高精度、大范围三维角度测量。
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公开(公告)号:CN109579744A
公开(公告)日:2019-04-05
申请号:CN201811479842.4
申请日:2018-12-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 基于光栅的跟随式三维光电自准直方法与装置属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域;本发明采用一维反射光栅作为敏感器件,一维透射光栅作为光路校正器件,保证待测光束与入射光束光轴平行,在实现高精度三维角度变化量测量的同时,极大的增加了测量系统的工作距离,同时使整个测量系统更加紧凑;同时为了避免俯仰角与旋转角由于彼此耦合而限制该两方向的角度变化量测量范围,采用跟随式补偿测量方法与装置,在解除俯仰角的测量范围限制的同时,提高了旋转角的测量范围;本发明解决了现有方法与装置中的不足,实现了高精度、大范围三维角度测量。
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