公开(公告)号：CN115002996A

公开(公告)日：2022-09-02

申请号：CN202210675037.9

申请日：2022-06-15

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 黄韬 ,  聂秋月 ,  余羿 ,  艾昕 ,  石劼霖 ,  刘晨 ,  门柏良 ,  张仲麟

IPC: H05H1/00

Abstract: 本发明属于等离子体诊断技术领域；公开了一种等离子体密度测量的三探针诊断系统及其使用方法。所述三探针诊断系统包括真空腔室10，所述真空腔室10内装入等离子体13，所述真空腔室10上设置真空泵口12和光学诊断窗口14，所述真空腔室10的尾端设置观察窗口15，所述真空腔室10的首端设置三探针诊断17系统，所述真空腔室10的首端与放电等离子体源系统16相连通。本发明用以解决在高气压、强碰撞放电条件下对于宽范围等离子体密度的诊断问题。

公开(公告)号：CN115002996B

公开(公告)日：2023-11-10

申请号：CN202210675037.9

申请日：2022-06-15

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 黄韬 ,  聂秋月 ,  余羿 ,  艾昕 ,  石劼霖 ,  刘晨 ,  门柏良 ,  张仲麟

IPC: H05H1/00

Abstract: 本发明属于等离子体诊断技术领域；公开了一种等离子体密度测量的三探针诊断系统及其使用方法。所述三探针诊断系统包括真空腔室10，所述真空腔室10内装入等离子体13，所述真空腔室10上设置真空泵口12和光学诊断窗口14，所述真空腔室10的尾端设置观察窗口15，所述真空腔室10的首端设置三探针诊断17系统，所述真空腔室10的首端与放电等离子体源系统16相连通。本发明用以解决在高气压、强碰撞放电条件下对于宽范围等离子体密度的诊断问题。