公开(公告)号：CN104181691A

公开(公告)日：2014-12-03

申请号：CN201410461046.3

申请日：2014-09-11

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王春晖 ,  李小宝 ,  任逍遥

IPC: G02B26/10

Abstract: 基于MEMS微镜折叠式的扫描光学系统，属于光学领域。解决了现有MEMS扫描系统，扫描视场角小的问题。它包括聚焦透镜组、MEMS微镜、f-θ透镜组和扩角透镜组；入射光经聚焦透镜组透射后，再经MEMS微镜反射后，入射至f-θ透镜组，经f-θ透镜组透射后，入射至扩角透镜组，经扩角透镜组扩角后的透射光与系统光轴的夹角为θ2，且f2小于f1；其中，θ1为经MEMS微镜反射的光与系统光轴的夹角，f2表示扩角透镜组的有效像方焦距，f1表示f-θ透镜组的焦距；所述的MEMS微镜的机械偏转角为[-4°,+4°]，夹角θ1的范围是[-8°,+8°]。本发明主要应用在光学扫描领域。

公开(公告)号：CN104181691B

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201410461046.3

申请日：2014-09-11

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王春晖 ,  李小宝 ,  任逍遥

IPC: G02B26/10

Abstract: 基于MEMS微镜折叠式的扫描光学系统，属于光学领域。解决了现有MEMS扫描系统，扫描视场角小的问题。它包括聚焦透镜组、MEMS微镜、f-θ透镜组和扩角透镜组；入射光经聚焦透镜组透射后，再经MEMS微镜反射后，入射至f-θ透镜组，经f-θ透镜组透射后，入射至扩角透镜组，经扩角透镜组扩角后的透射光与系统光轴的夹角为θ2，且f2小于f1；其中，θ1为经MEMS微镜反射的光与系统光轴的夹角，f2表示扩角透镜组的有效像方焦距，f1表示f-θ透镜组的焦距；所述的MEMS微镜的机械偏转角为[-4°,+4°]，夹角θ1的范围是[-8°,+8°]。本发明主要应用在光学扫描领域。