公开(公告)号：CN110285761A

公开(公告)日：2019-09-27

申请号：CN201910592878.1

申请日：2019-07-03

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陆振刚 ,  谭久彬 ,  乔德成 ,  曾智明

IPC: G01B11/02 ,  G01B9/02

Abstract: 一种结构紧凑的衍射光栅三维位移测量装置，属于微位移测量技术，由标尺光栅、光源、复合型扫描光栅、X向探测部件、Y向探测部件、Z向探测部件构成；光源为激光器；标尺光栅和复合型扫描光栅平行放置，通过光栅周期和栅线方向的合理布置，该装置能够同时测量X向、Y向和Z向位移的三维位移，且结构紧凑，体积小，抗干扰能力强，能够实现X向和Y向光学4倍细分，Z向光源波长2细分，配合合适电学细分卡，可实现纳米甚至更高分辨率及精度，可应用于小体积多维度的高精度位移测量实践中。

公开(公告)号：CN110285761B

公开(公告)日：2021-02-23

申请号：CN201910592878.1

申请日：2019-07-03

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陆振刚 ,  谭久彬 ,  乔德成 ,  曾智明

IPC: G01B11/02 ,  G01B9/02

Abstract: 一种结构紧凑的衍射光栅三维位移测量装置，属于微位移测量技术，由标尺光栅、光源、复合型扫描光栅、X向探测部件、Y向探测部件、Z向探测部件构成；光源为激光器；标尺光栅和复合型扫描光栅平行放置，通过光栅周期和栅线方向的合理布置，该装置能够同时测量X向、Y向和Z向位移的三维位移，且结构紧凑，体积小，抗干扰能力强，能够实现X向和Y向光学4倍细分，Z向光源波长2细分，配合合适电学细分卡，可实现纳米甚至更高分辨率及精度，可应用于小体积多维度的高精度位移测量实践中。