公开(公告)号：CN107085290B

公开(公告)日：2019-02-01

申请号：CN201710439347.X

申请日：2017-06-12

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 倪赫 ,  郭清源 ,  严情 ,  邹丽敏 ,  张鹏

IPC: G02B21/00

Abstract: 一种基于扫描振镜与半导体激光器的共聚焦显微镜并行扫描装置及扫描方法，属于共焦显微成像领域。解决了现有CCD相机受到曝光速度影响，图片采集速率较低的问题。本发明包括半导体激光器、衰减片、偏振片、准直扩束系统、第一偏振分光棱镜、扫描振镜系统、远心扫描透镜、管镜、第二偏振分光棱镜、1/4波片、物镜、第一收集透镜、光电探测器、第二收集透镜、CCD相机和控制器；通过调制共焦光路中的CCD相机曝光时间，扫描振镜系统及半导体激光器触发信号，在CCD相机的一帧图像上获取多个振镜偏转角度对应的激光光斑，实现并行扫描。本发明主要用于对样品进行扫描。

公开(公告)号：CN107085290A

公开(公告)日：2017-08-22

申请号：CN201710439347.X

申请日：2017-06-12

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 倪赫 ,  郭清源 ,  严情 ,  邹丽敏 ,  张鹏

IPC: G02B21/00

CPC classification number: G02B21/0032 ,  G02B21/0036 ,  G02B21/0068

Abstract: 一种基于扫描振镜与半导体激光器的共聚焦显微镜并行扫描装置及扫描方法，属于共焦显微成像领域。解决了现有CCD相机受到曝光速度影响，图片采集速率较低的问题。本发明包括半导体激光器、衰减片、偏振片、准直扩束系统、第一偏振分光棱镜、扫描振镜系统、远心扫描透镜、管镜、第二偏振分光棱镜、1/4波片、物镜、第一收集透镜、光电探测器、第二收集透镜、CCD相机和控制器；通过调制共焦光路中的CCD相机曝光时间，扫描振镜系统及半导体激光器触发信号，在CCD相机的一帧图像上获取多个振镜偏转角度对应的激光光斑，实现并行扫描。本发明主要用于对样品进行扫描。