-
公开(公告)号：CN101479054B
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN200680055180.7
申请日：2006-08-03
申请人： 和舰科技(苏州)有限公司
CPC分类号： C23C16/4408 , B08B9/0323 , B08B9/0325
摘要： 本发明提供一种光阻涂布和显影装置中的管路自动清洗装置，该光阻涂布和显影装置包括鼓泡罐(15)，鼓泡罐输出管路，压力表(13)，流量计(11)(12)，HMDS—空气供应、排放的气动开关阀(14)和HMDS—空气分配管路的气动开关阀(21)，管路自动清洗装置包括两位三通气动换向阀(52)，同上述HMDS—空气供应、排放的气动开关阀(14)连接，设置在压力表(13)与流量计(11)、流量计(12)之间的氮管路，设置在鼓泡罐(15)的出口处的氮管路。利用本发明所述装置可以免去对管路压入清洁剂的麻烦，又可以在不改变软件设定的状态下，实现管路的自动清洗，还可以防止己二胺(HMDA)泄漏，或者盖子没有安装正确造成的真空异常或者晶片刮伤。
-
公开(公告)号：CN101479054A
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200680055180.7
申请日：2006-08-03
申请人： 和舰科技(苏州)有限公司
CPC分类号： C23C16/4408 , B08B9/0323 , B08B9/0325
摘要： 本发明提供一种光阻涂布和显影装置中的管路自动清洗装置，该光阻涂布和显影装置包括鼓泡罐(15)，鼓泡罐输出管路，压力表(13)，流量计(11)、(12)，HMDS－空气供应、排放的气动开关阀(14)和HMDS－空气分配管路的气动开关阀(21)，管路自动清洗装置包括两位三通气动换向阀(52)，同上述HMDS－空气供应、排放的气动开关阀(14)连接，设置在压力表(13)与流量计(11)、流量计(12)之间的氮管路，设置在鼓泡罐(15)的出口处的氮管路。利用本发明所述装置可以免去对管路压入清洁剂的麻烦，又可以在不改变软件设定的状态下，实现管路的自动清洗，还可以防止己二胺(HMDA)泄漏，或者盖子没有安装正确造成的真空异常或者晶片刮伤。
-
公开(公告)号：CN101315519A
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200710023418.4
申请日：2007-06-01
申请人： 和舰科技(苏州)有限公司
发明人： 薛伟
IPC分类号： G03F7/00 , H01L21/027
摘要： 本发明涉及一种可防滴漏型光阻瓶，用于集成电路制造工艺，为蚀刻过程提供流量可控的腐蚀性光阻液剂。其结构包括瓶体、瓶盖、进气管和出液管，瓶体与瓶盖之间为螺纹连接，进气管和出液管经由瓶盖与瓶体内部通连，其特点是瓶盖与瓶体之间设有一段可伸缩软管，同时出液管分为吸液段和出液段，它们分别与可伸缩软管的上下两端连接，连接之后三者内部空间相互通连，构成中途密闭的吸液和出液通路。本发明可有效防止操作过程中光阻滴到瓶外，解决了工作环境易被污染难以清洁的难题。
-
公开(公告)号：CN200993692Y
公开(公告)日：2007-12-19
申请号：CN200620126592.2
申请日：2006-11-22
申请人： 和舰科技(苏州)有限公司
IPC分类号： G02B21/26
摘要： 本实用新型提供一种带有行程限位机构的显微镜，包括载物台[3]、目镜[1]、底座[6]、钝角折形挡板[8]和条形连接块[9]，钝角折形挡板[8]呈“”形，条形连接块[9]固定在底座[6]上，挡板[8]的倾斜段开有导槽，以可活动连接方式安装在条形连接块[9]上。挡板[8]的上下位置可以调节，根据具体显微镜载物台的行程限位要求，设定好挡板8的位置后，通过锁紧螺栓将挡板的倾斜段与条形连接块[9]相固定，挡板水平段的下表面与载物台[3]的上表面相对。这样，通过增设挡板组合件对显微镜载物台的行程进行限位，可有效防止观察晶圆图形时刮伤晶圆。
-
公开(公告)号：CN201110940Y
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200720046576.7
申请日：2007-10-26
申请人： 和舰科技(苏州)有限公司
摘要： 本实用新型提供一种光阻涂布显影机冷热板的清洁工具，包括长杆、球体及短圆柱块，长杆的一端为手柄部，长杆的另一端设有一球块，短圆柱块与一不锈钢板相连接，不锈钢板上设有与长杆上球块相配的球体，球体与球块构成球面铰接，从而短圆柱块与长杆活动连接。本实用新型清洁工具可顺利进入冷热板所处的空间，短圆柱块平整表面与热板表面接触，相对位移推开灰尘，完成对热板表面的清洁工作；使用时动作灵活，手感好，有效避免损害；功能卓越，使用简洁。
-
-
-
-
搜索结果
5 条记录 (耗时 0.029 秒)
