公开(公告)号：CN102103335A

公开(公告)日：2011-06-22

申请号：CN200910261621.4

申请日：2009-12-18

Applicant: 和舰科技(苏州)有限公司

Inventor： 何如兵 ,  陈鹏 ,  吴广州 ,  张聪

IPC: G03F9/00

Abstract: 本发明提出了一种检验晶片对准的方法，以对准正常的晶片为标准，在机台中存储该晶片的图形信息，在该晶片上选取一个或多个检验点并在机台内建立程序，根据在目镜中观察到的被测晶片在检验点的图形，可以简单且精确地确定被测晶片的对准程度。提高实际生产过程中晶片对准不良的早期判断能力。

公开(公告)号：CN102103335B

公开(公告)日：2012-10-10

申请号：CN200910261621.4

申请日：2009-12-18

Applicant: 和舰科技(苏州)有限公司

Inventor： 何如兵 ,  陈鹏 ,  吴广州 ,  张聪

IPC: G03F9/00

Abstract: 本发明提出了一种检验晶片对准的方法，以对准正常的晶片为标准，在机台中存储该晶片的图形信息，在该晶片上选取一个或多个检验点并在机台内建立程序，根据在目镜中观察到的被测晶片在检验点的图形，可以简单且精确地确定被测晶片的对准程度。提高实际生产过程中晶片对准不良的早期判断能力。