公开(公告)号：CN119779165A

公开(公告)日：2025-04-08

申请号：CN202510019907.0

申请日：2025-01-07

Applicant: 同济大学 ,  上海芬创信息科技有限公司

Inventor： 邓晓 ,  张岚 ,  曾志超 ,  谢张宁 ,  江诚杰

IPC: G01B11/02 ,  G05D3/12 ,  G01B9/02 ,  G01B9/02055

Abstract: 本发明公开了一种基于自溯源光栅干涉仪反馈控制的纳米位移台及反馈控制方法，基于自溯源光栅干涉仪反馈控制的纳米位移台包括：自溯源光栅干涉仪、纳米位移台、调整台、上位机控制系统、光栅调整架和自溯源光栅，所述自溯源光栅干涉仪和所述调整台分开放置在同一平面上，所述纳米位移台固定放置于所述调整台上，所述上位机控制系统同时连接并调控所述自溯源光栅干涉仪和所述纳米位移台，所述纳米位移台上放置有样品，所述光栅调整架贴在所述纳米位移台上，所述自溯源光栅设置在所述光栅调整架上，所述自溯源光栅与所述自溯源光栅干涉仪对准。本发明具有能现场直接溯源、方便嵌入、受环境变化影响低、重复性与稳定性好和较大工业开发潜力的优点。

公开(公告)号：CN116255910B

公开(公告)日：2024-07-23

申请号：CN202211612933.7

申请日：2022-12-15

Applicant: 同济大学

Inventor： 程鑫彬 ,  顾振杰 ,  邓晓 ,  谢张宁

IPC: G01B11/02 ,  G02B27/00 ,  G02B27/42 ,  G02B27/44 ,  G02B26/06

Abstract: 本发明涉及一种基于自溯源光栅的自混合计量型位移测量装置和方法，所述的装置包括：激光光源，用于发出单纵模的激光；光学元件，用于调节发出激光的会聚程度；光衰减器，用于对激光进行光强的衰减；自溯源光栅，根据衰减后的激光产生一级衍射光，并调整角度使一级衍射光沿原路返回；位移发生器，用于使自溯源光栅产生位移；光电探测器，用于探测自混合激光光源中自混合干涉光场的自混合信号；信号处理器，用于对自混合信号进行滤波和信号归一化的预处理，并通过相位解包裹方法获得相位值，根据相位值和自溯源光栅的节距值反演得到位移值。与现有技术相比，本发明具有可直接溯源、无需外部校准、测量精确等优点。

公开(公告)号：CN115877037A

公开(公告)日：2023-03-31

申请号：CN202211365264.8

申请日：2022-11-03

Applicant: 上海市计量测试技术研究院 ,  同济大学

Inventor： 雷李华 ,  曹程明 ,  熊英凡 ,  谢张宁 ,  邓晓 ,  程鑫彬 ,  管钰晴 ,  邹文哲 ,  傅云霞

IPC: G01Q40/00

Abstract: 本发明公开了一种电子探针显微分析仪器的参数误差校准方法，基于原子光刻技术制备一维光栅标准样板，计算该一维光栅标准样板的光栅理论周期值D；将一维光栅标准样板静置于电子探针显微分析仪器的载物台设定时间，使测试状态保持稳定；待电子探针显微分析仪器聚焦清晰后，电子探针显微分析仪器扫描载物台上的一维光栅标准样板，对一维光栅标准样板的栅格间距进行图像采集和测量，得到光栅扫描距离测量值L,并记下此时的放大倍率，根据D和L计算获得该放大倍率下的校准因子K。本发明的电子探针显微分析仪器的参数误差校准方法，缩短了对仪器进行校准的溯源链长度，降低了量值传递过程的误差积累，提升了不同仪器之间的校准一致性，操作方便。

公开(公告)号：CN116255910A

公开(公告)日：2023-06-13

申请号：CN202211612933.7

申请日：2022-12-15

Applicant: 同济大学

Inventor： 程鑫彬 ,  顾振杰 ,  邓晓 ,  谢张宁

IPC: G01B11/02 ,  G02B27/00 ,  G02B27/42 ,  G02B27/44 ,  G02B26/06

Abstract: 本发明涉及一种基于自溯源光栅的自混合计量型位移测量装置和方法，所述的装置包括：激光光源，用于发出单纵模的激光；光学元件，用于调节发出激光的会聚程度；光衰减器，用于对激光进行光强的衰减；自溯源光栅，根据衰减后的激光产生一级衍射光，并调整角度使一级衍射光沿原路返回；位移发生器，用于使自溯源光栅产生位移；光电探测器，用于探测自混合激光光源中自混合干涉光场的自混合信号；信号处理器，用于对自混合信号进行滤波和信号归一化的预处理，并通过相位解包裹方法获得相位值，根据相位值和自溯源光栅的节距值反演得到位移值。与现有技术相比，本发明具有可直接溯源、无需外部校准、测量精确等优点。