基于混合驱动机理的仿生多自由度微纳米级压电驱动器

    公开(公告)号:CN202957768U

    公开(公告)日:2013-05-29

    申请号:CN201220681317.2

    申请日:2012-12-12

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本实用新型涉及一种基于混合驱动机理的仿生多自由度微纳米级压电驱动器,属于机电领域。包括转子、定子、基壳,其中定子内封装有钳位机构、低频旋转驱动机构、低频直线驱动机构,是一个通过多个薄壁柔性铰链连接的整体式结构,且压电叠堆驱动单元装于转子中。优点在于:大大提高传统精密驱动器的驱动定位精度,降低结构的复杂性和尺寸、响应迅速、驱动力大、稳定性好、低能量损耗、不受磁场干扰、高分辨率、高位移精度、驱动功率低和工作频率宽、无爬行、成本低、投资少、效益高等优点。

    面向规则金刚石工具头超精密研磨/抛光加工平台

    公开(公告)号:CN203636514U

    公开(公告)日:2014-06-11

    申请号:CN201320695779.4

    申请日:2013-11-07

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本实用新型涉及一种面向规则金刚石工具头超精密研磨/抛光加工平台,属于精密、超精密加工领域。包括由平台支撑装置、三自由度装置、力传感器与声发射传感器控制单元、工具头加持单元,三自由度装置提供Z轴移动、绕Z轴转动和绕Y轴转动的三个运动自由度,同时提供加工时所需要的载荷力;力传感器检测工件(金刚石工具头)在加工过程中所受到的作用力,声发射传感器检测加工过程中材料去除的动态过程。可用于规则金刚石工具头的修复和光整加工,加工平台具有结构紧凑,操作简单,效率高,适用性强等优点。还能够通过多自由度的调整对工件进行精密加工,通过传感器控制加工过程,从而保证工件加工表面的平面度、提高工件的加工效率和表面质量。

    超声波振动辅助研磨/抛光的超精密加工系统

    公开(公告)号:CN203636513U

    公开(公告)日:2014-06-11

    申请号:CN201420004200.X

    申请日:2014-01-03

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本实用新型涉及一种超声波振动辅助研磨/抛光的超精密加工系统,属于精密、超精密加工领域。xyz三轴运动工作台用来调整超声波振动发生器与工件夹持单元间的相对位置;超声波振动发生器将确定频率的交流电信号转换成相应频率的振动微位移;传感器检测单元用于监控加工过程;摇臂机构用来保证工件夹持单元在研磨/抛光加工过程中始终处于确定位置。本实用新型可用于硬脆材料的超精密平坦化加工,具有结构紧凑、操作简单、效率高、适用性强等优点。本实用新型能够通过改善研磨/抛光条件(降低研磨/抛光力、减少切削热、消除或抑制振动等)显著地提高工件的加工精度和表面质量,降低试件加工表面损伤,改进精密与超精密研磨/抛光加工工艺。

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