用于金刚石对顶砧上原位电学测量的电极及其制作方法

    公开(公告)号:CN101509947B

    公开(公告)日:2011-05-04

    申请号:CN200810051718.8

    申请日:2008-12-30

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明的用于金刚石对顶砧上原位电学测量的电极及其制作方法属于高温高压装置的技术领域。在金刚石压砧(8)表面沉积4条电极(1),分布是自金刚石压砧(8)的砧面到侧面;电极(1)是掺杂硼的金刚石膜;金刚石绝缘层(2)覆盖在金刚石压砧(8)的砧面、侧面和电极(1)上,电极(1)在砧面的端头裸露,裸露位置在样品腔(9)内,电极(1)在侧面的端头裸露,接有电极引线(5)。利用薄膜沉积技术、纳米引晶技术、掩膜技术和光刻手段将金刚石薄膜微电路和金刚石绝缘层同时集成到金刚石压砧表面上。本发明防止了横向剪切力对电极的破坏,克服了高压条件下样品对电极的腐蚀,从而拓宽了高压下电学量原位测量的研究领域。

    金刚石对顶砧上原位温度测量热电偶及其制备方法

    公开(公告)号:CN102200480B

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN201110070911.8

    申请日:2011-03-23

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明的金刚石对顶砧上原位温度测量热电偶及其制备方法属于极端条件下原位温度测量装置的技术领域。本发明的W-Ta热电偶的结构是在一个金刚石压砧(1)表面沉积有氧化铝膜(2);在氧化铝膜(2)上分别沉积有小于压砧表面积一半的钨膜(3)和钽膜(4)作热电偶的导电体,之间有氧化铝膜(2)隔断,钨膜(3)和钽膜(4)在砧面中心重叠接触作为热电偶接点。W-Ta热电偶通过薄膜制备技术和光刻技术制作在金刚石压砧(1)的表面。本发明的W-Ta热电偶与被测表面之间的对流换热变化也极其微小,对表面热传导的干扰极小,对温度响应更快,且测量结果更能反映被测表面的实际温度,实现高温高压条件下的原位温度测量。

    高压霍尔效应测量装置和测量方法

    公开(公告)号:CN100570392C

    公开(公告)日:2009-12-16

    申请号:CN200710055802.2

    申请日:2007-06-22

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明的高压霍尔效应测量装置和测量方法属于高压下的测量方法技术领域。测量装置包括在两颗金刚石压砧中间放置的铼材料的垫片1,钛合金材料的压机6,在压机与金刚石对顶砧之间放置的钢材的摇床9,电磁铁5;一颗金刚石压砧的砧面和侧面顺次沉积有四条相互绝缘的电极3和氧化铝保护层4;电极3在砧面的端头裸露,并且位置在金刚石对顶砧的样品腔2内,电极3在侧面的端头裸露,并且接有电极引线10。选取范德堡方法、使用现有的霍尔自动测试系统进行霍尔效应测量。本发明解决了高压下霍尔效应的测量装置和测量方法,为高压下样品的物理性质等研究开辟了一条有效的途径。

    高压原位电阻率测量的电极及其制作方法

    公开(公告)号:CN102183693B

    公开(公告)日:2013-06-05

    申请号:CN201110021087.7

    申请日:2011-01-19

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明的高压原位电阻率测量的电极及其制作方法属于高压装置的技术领域。两条电极(3)沉积在一颗金刚石压砧(1)上,在金刚石压砧(1)的砧面和侧面再沉积有绝缘保护层(4),电极的金属引线(5)粘在金刚石压砧(1)侧面裸露的电极端头上;两条电极(3)在金刚石压砧(1)砧面的端头分别是圆形和弓形;放置在两颗金刚石压砧(1)之间的金属垫片(6)作为第三电极。电极(3)的制作方法有沉积金属钼、制作电极、沉积氧化铝绝缘保护层和电极引线制作的步骤。利用此电极进行电阻率测量时,不用考虑样品腔内壁不绝缘带来的实验误差;不需要对样品的厚度进行测量,也不用考虑由厚度测量不准确带来的实验误差。

    高压原位电阻率测量的电极及其制作方法

    公开(公告)号:CN102183693A

    公开(公告)日:2011-09-14

    申请号:CN201110021087.7

    申请日:2011-01-19

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明的高压原位电阻率测量的电极及其制作方法属于高压装置的技术领域。两条电极(3)沉积在一颗金刚石压砧(1)上,在金刚石压砧(1)的砧面和侧面再沉积有绝缘保护层(4),电极的金属引线(5)粘在金刚石压砧(1)侧面裸露的电极端头上;两条电极(3)在金刚石压砧(1)砧面的端头分别是圆形和弓形;放置在两颗金刚石压砧(1)之间的金属垫片(6)作为第三电极。电极(3)的制作方法有沉积金属钼、制作电极、沉积氧化铝绝缘保护层和电极引线制作的步骤。利用此电极进行电阻率测量时,不用考虑样品腔内壁不绝缘带来的实验误差;不需要对样品的厚度进行测量,也不用考虑由厚度测量不准确带来的实验误差。

    高压霍尔效应测量装置和测量方法

    公开(公告)号:CN101074984A

    公开(公告)日:2007-11-21

    申请号:CN200710055802.2

    申请日:2007-06-22

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明的高压霍尔效应测量装置和测量方法属于高压下的测量方法技术领域。测量装置包括在两颗金刚石压砧中间放置的铼材料的垫片1,钛合金材料的压机6,在压机与金刚石对顶砧之间放置的钢材的摇床9,电磁铁5;一颗金刚石压砧的砧面和侧面顺次沉积有四条相互绝缘的电极3和氧化铝保护层4;电极3在砧面的端头裸露,并且位置在金刚石对顶砧的样品腔2内,电极3在侧面的端头裸露,并且接有电极引线10。选取范德堡方法、使用现有的霍尔自动测试系统进行霍尔效应测量。本发明解决了高压下霍尔效应的测量装置和测量方法,为高压下样品的物理性质等研究开辟了一条有效的途径。

    金刚石对顶砧上原位温度测量热电偶及其制备方法

    公开(公告)号:CN102200480A

    公开(公告)日:2011-09-28

    申请号:CN201110070911.8

    申请日:2011-03-23

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明的金刚石对顶砧上原位温度测量热电偶及其制备方法属于极端条件下原位温度测量装置的技术领域。本发明的W-Ta热电偶的结构是在一个金刚石压砧(1)表面沉积有氧化铝膜(2);在氧化铝膜(2)上分别沉积有小于压砧表面积一半的钨膜(3)和钽膜(4)作热电偶的导电体,之间有氧化铝膜(2)隔断,钨膜(3)和钽膜(4)在砧面中心重叠接触作为热电偶接点。W-Ta热电偶通过薄膜制备技术和光刻技术制作在金刚石压砧(1)的表面。本发明的W-Ta热电偶与被测表面之间的对流换热变化也极其微小,对表面热传导的干扰极小,对温度响应更快,且测量结果更能反映被测表面的实际温度,实现高温高压条件下的原位温度测量。

    用于金刚石对顶砧上原位电学测量的电极及其制作方法

    公开(公告)号:CN101509947A

    公开(公告)日:2009-08-19

    申请号:CN200810051718.8

    申请日:2008-12-30

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明的用于金刚石对顶砧上原位电学测量的电极及其制作方法属于高温高压装置的技术领域。在金刚石压砧(8)表面沉积4条电极(1),分布是自金刚石压砧(8)的砧面到侧面;电极(1)是掺杂硼的金刚石膜;金刚石绝缘层(2)覆盖在金刚石压砧(8)的砧面、侧面和电极(1)上,电极(1)在砧面的端头裸露,裸露位置在样品腔(9)内,电极(1)在侧面的端头裸露,接有电极引线(5)。利用薄膜沉积技术、纳米引晶技术、掩膜技术和光刻手段将金刚石薄膜微电路和金刚石绝缘层同时集成到金刚石压砧表面上。本发明防止了横向剪切力对电极的破坏,克服了高压条件下样品对电极的腐蚀,从而拓宽了高压下电学量原位测量的研究领域。

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