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公开(公告)号：CN117987913A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202410065761.9
申请日：2024-01-17
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本申请提供一种基于双源共蒸法制备一维非厄米光子晶体的方法，包括：在玻璃衬底上真空蒸镀硒化锌薄膜；采用双源共蒸法在硒化锌薄膜上制备钙钛矿薄膜；在钙钛矿薄膜上真空蒸镀氟化钙薄膜得到一维非厄米光子晶体。本申请首先在玻璃衬底上蒸镀一层硒化锌薄膜，然后通过真空热蒸镀系统制备一层钙钛矿薄膜，最后蒸镀一层氟化钙来制备一维非厄米光子晶体；利用双源共蒸法可以解决多层钙钛矿薄膜暴露在空气中引起的怕水、怕氧等变质问题。在真空热蒸镀系统中可以控制系统温度、电流大小，加热时间来控制钙钛矿和其他两个薄膜的形貌和厚度，得到形貌良好、厚度可控的一维非厄米光子晶体，满足一维体系非厄米光子晶体的工业化生产。
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