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公开(公告)号:CN110510887A
公开(公告)日:2019-11-29
申请号:CN201910773883.2
申请日:2019-08-21
Applicant: 吉林大学
IPC: C03C15/02 , G02B3/00 , B23K26/02 , B23K26/362
Abstract: 本发明涉及一种多焦点光学曲面的制造方法和一种包括所述光学曲面的透镜的光学装置。所述制造多焦点光学曲面的方法包括在光学基材中设置至少两个目标光点,并生成所述至少两个目标光点的全息相位;其中至少两个目标光点中的两个目标光点分别设置在光学基材的表面和内部,将至少两个目标光点的全息相位加载至空间光调制器后对飞秒激光进行调制,然后将被调制后的飞秒激光通过多个透镜分别聚焦于光学基材的所述至少两个目标光点处并对所述至少两个目标光点分别进行烧蚀,形成对应的烧蚀区,将形成有烧蚀区的光学基材置于氢氟酸溶液中,并进行超声处理,直到相邻的烧蚀区相互连通且每个烧蚀区的表面形状变成光滑的凹面为止。
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公开(公告)号:CN108145315B
公开(公告)日:2019-11-08
申请号:CN201810016784.5
申请日:2018-01-09
Applicant: 吉林大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/064 , B23K26/60
Abstract: 本发明公开了一种利用飞秒激光单脉冲对硬质材料进行灰度加工的方法及其应用,属于激光加工技术领域,提供了利用单个飞秒激光脉冲直接对硬质材料进行灰度加工的方法。采用空间光调制器将飞秒激光调制成一组光强(相对能量)不同的子束波,利用调制后的单个飞秒激光脉冲对硬质衬底进行曝光,可获得一组曝光剂量与子束波光强一一对应的种子点阵。在此基础上进行刻蚀,最终能够得到由一组单元三维尺寸可独立调节的微结构阵列,每个结构单元尺寸由所对应种子的曝光剂量唯一决定。
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公开(公告)号:CN110471135A
公开(公告)日:2019-11-19
申请号:CN201910776296.9
申请日:2019-08-21
Applicant: 吉林大学
IPC: G02B3/00
Abstract: 本发明涉及一种在曲面上制造微透镜阵列的方法以及一种包括由所述方法制成的微透镜阵列的光学装置。所述在曲面上制造微透镜阵列的方法,包括:在光学基材的表面形成一个光滑的凹面,测量凹面的形状,根据凹面的形状设定目标光点阵列,使得目标光点阵列的每个目标光点都定位在凹面上,生成每个目标光点的全息相位,形成目标光点阵列的全息相位集合,将全息相位集合加载至空间光调制器后对飞秒激光进行调制,然后将被调制后的飞秒激光通过多个透镜分别聚焦于所述目标光点阵列的每个目标光点处并对每个目标光点分别进行烧蚀,形成多个烧蚀区,将烧蚀后的光学基材置于氢氟酸溶液中进行腐蚀,直到每个烧蚀区的表面形状变成光滑的凹面为止。
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公开(公告)号:CN104176700A
公开(公告)日:2014-12-03
申请号:CN201410461582.3
申请日:2014-09-12
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种利用激光干涉制备微结构的方法,属于金属微加工领域。首先利用现有的激光干涉技术,通过双光束干涉在光刻胶的表面形成周期性微结构,改变激光束的数量和排列方式,可以在光刻胶的表面制备出各种二维和三维的周期结构,然后通过刻蚀的方式对金属镍片进行加工,能够在金属表面得到周期小于1um宽度的特征尺寸,此种加工方法简单,效率高,加工时间短,并且金属表面加工的微结构的特征尺寸更小。
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公开(公告)号:CN108145315A
公开(公告)日:2018-06-12
申请号:CN201810016784.5
申请日:2018-01-09
Applicant: 吉林大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/064 , B23K26/60
Abstract: 本发明公开了一种利用飞秒激光单脉冲对硬质材料进行灰度加工的方法及其应用,属于激光加工技术领域,提供了利用单个飞秒激光脉冲直接对硬质材料进行灰度加工的方法。采用空间光调制器将飞秒激光调制成一组光强(相对能量)不同的子束波,利用调制后的单个飞秒激光脉冲对硬质衬底进行曝光,可获得一组曝光剂量与子束波光强一一对应的种子点阵。在此基础上进行刻蚀,最终能够得到由一组单元三维尺寸可独立调节的微结构阵列,每个结构单元尺寸由所对应种子的曝光剂量唯一决定。
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