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公开(公告)号：CN104176700A
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201410461582.3
申请日：2014-09-12
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种利用激光干涉制备微结构的方法，属于金属微加工领域。首先利用现有的激光干涉技术，通过双光束干涉在光刻胶的表面形成周期性微结构，改变激光束的数量和排列方式，可以在光刻胶的表面制备出各种二维和三维的周期结构，然后通过刻蚀的方式对金属镍片进行加工，能够在金属表面得到周期小于1um宽度的特征尺寸，此种加工方法简单，效率高，加工时间短，并且金属表面加工的微结构的特征尺寸更小。
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