公开(公告)号：CN107052992A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201611008266.6

申请日：2016-11-16

Applicant: 吉林大学

Inventor： 杨旭 ,  张富 ,  张冰 ,  赵继 ,  刘畅 ,  刘思明 ,  勾鹏巍

IPC: B24B37/34 ,  B24B37/11 ,  B24B57/02 ,  B24B41/02 ,  F17D1/14

CPC classification number: B24B37/34 ,  B24B37/11 ,  B24B41/02 ,  B24B57/02 ,  F17D1/14

Abstract: 本发明涉及一种抛光液在线调配内供给抛光机床，属于化学机械抛光领域。抛光液回收箱和机床支架分别与机床底座固定连接，抛光液在线调配装置与抛光液回收箱上方固定连接，Z向进给机构与机床支架固定连接，Z向进给机构与A轴摆动机构相连，A轴摆动机构与抛光头工具系统相连，机X向进给机构与床底座固定连接，X向进给机构上方与Y向进给机构相连，Y向进给机构上方与C轴转台相连。本发明对于提升我国高品质光学元件的制造水平和制造能力，推进光学曲面精密制造理论创新，加快我国航空航天、机械制造等产业的快速发展，具有重要学术价值和较大的社会经济效益。

公开(公告)号：CN107052992B

公开(公告)日：2023-05-23

申请号：CN201611008266.6

申请日：2016-11-16

Applicant: 吉林大学

Inventor： 杨旭 ,  张富 ,  张冰 ,  赵继 ,  刘畅 ,  刘思明 ,  勾鹏巍

IPC: B24B37/34 ,  B24B37/11 ,  B24B57/02 ,  B24B41/02 ,  F17D1/14

Abstract: 本发明涉及一种抛光液在线调配内供给抛光机床，属于化学机械抛光领域。抛光液回收箱和机床支架分别与机床底座固定连接，抛光液在线调配装置与抛光液回收箱上方固定连接，Z向进给机构与机床支架固定连接，Z向进给机构与A轴摆动机构相连，A轴摆动机构与抛光头工具系统相连，机X向进给机构与床底座固定连接，X向进给机构上方与Y向进给机构相连，Y向进给机构上方与C轴转台相连。本发明对于提升我国高品质光学元件的制造水平和制造能力，推进光学曲面精密制造理论创新，加快我国航空航天、机械制造等产业的快速发展，具有重要学术价值和较大的社会经济效益。

公开(公告)号：CN206344011U

公开(公告)日：2017-07-21

申请号：CN201621230449.8

申请日：2016-11-16

Applicant: 吉林大学

Inventor： 杨旭 ,  张冰 ,  张富 ,  赵继 ,  刘畅 ,  刘思明 ,  勾鹏巍

IPC: B24B37/34 ,  B24B37/11 ,  B24B57/02 ,  B24B41/02 ,  F17D1/14

Abstract: 本实用新型涉及一种抛光液在线调配内供给抛光机床，属于化学机械抛光领域。抛光液回收箱和机床支架分别与机床底座固定连接，抛光液在线调配装置与抛光液回收箱上方固定连接，Z向进给机构与机床支架固定连接，Z向进给机构与A轴摆动机构相连，A轴摆动机构与抛光头工具系统相连，机X向进给机构与床底座固定连接，X向进给机构上方与Y向进给机构相连，Y向进给机构上方与C轴转台相连。本实用新型对于提升我国高品质光学元件的制造水平和制造能力，推进光学曲面精密制造理论创新，加快我国航空航天、机械制造等产业的快速发展，具有重要学术价值和较大的社会经济效益。