一种CVD法制备石墨烯及纳米碳管真空气相沉积装置

    公开(公告)号:CN106011780A

    公开(公告)日:2016-10-12

    申请号:CN201610464638.X

    申请日:2016-06-24

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明属于纳米结构薄膜材料制备技术领域,涉及一种CVD法制备石墨烯及纳米碳管真空气相沉积装置;包括具有反应腔室的沉积系统、自制水冷系统、自制风冷系统、电极控制系统和气体控制系统;自制水冷系统由铜管、冷却循环水机和冷却水管组成;自制风冷系统由风冷隔绝气罩和风冷机组成;电极控制系统由电阻丝加热板、两个特定的不锈钢支撑架和两个符合条件的绝缘云母片组成;电极控制系统由电阻丝加热板、两个不锈钢支撑架和两个绝缘云母片组成;气体控制系统由气体质量流量计、依次排列的氢气发生器、氩气气瓶、甲烷气瓶、氢气气瓶组成;本发明安置符合条件的电阻丝加热板、不锈钢支撑架及绝缘隔绝原件,减小了原有装置对温度的限制。

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