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公开(公告)号：CN111580346B
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202010434655.5
申请日：2020-05-21
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明公开了一种DMD光刻系统中倾角及放大倍率的测量和校正方法，属于光学技术领域，本发明根据测得的数据进行相应的计算，可补偿平台倾角和校正投影放大倍率，无需对掩模图进行复杂的处理，只需要运用简单的数学关系去计算平台移动距离，即可实现倾角的补偿，改善图案错位、模糊等现象，可使配置二维移动平台的DMD无掩模光刻系统实现理想应用，达到制备大规模结构的目的。本发明的校正方法，不仅成本低，而且无需大面积的测试板面、大距离的移动以及高精度的测试仪器，只需要实验室显微镜进行测量即可。此外，本发明减少了加工前期图像处理的麻烦，适用于大多数的光刻系统，应用性比较广。
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公开(公告)号：CN111580352B
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN202010511038.0
申请日：2020-06-08
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明公开了一种用于数字光刻系统中旋转转台转心的测量和校正方法，属于光学技术领域，具体步骤包括，步骤一：配置基于旋转转台的DMD数字光刻系统；步骤二：基于分区域连续旋转的静态刻写：步骤三：基于光刻基片图像数据计算转心的方法：步骤四：转心的校正。本发明中的DMD光刻系统配置了旋转转台，可通过加载一幅掩模图，旋转转台实现旋转对称图形的刻写，若将转台旋转和加载图形配合，有望实现更复杂图形的加工。为了实现旋转转台的理想应用，本发明对旋转转台的转心进行了测量和校正。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112099218B
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202010984072.X
申请日：2020-09-18
Applicant: 吉林大学
IPC: G02B21/24 , G02B21/33 , G02B21/36 , G02B21/00 , B23K26/046 , B23K26/064
Abstract: 本发明公开了一种飞秒激光系统图像调焦方法，属于飞秒激光系统直写加工技术领域，借助激光划过基片表面墨痕的方式找到激光光斑聚焦位置，以此为准，固定CCD，加工物镜，压电平台三个调节硬件，将物的位置作为唯一调节变量，确定调焦光路中物的对应位置并固定，以成像状态清晰度间接反映激光聚焦状态。若CCD在同一位置，既能观测到清晰的基片表面，又能观测到清晰条纹成像，说明调焦准确。后续加工中，为了弥补不同基片之间的高度差，只需要微调加工物镜z向位置使条纹清晰即可。本发明的调焦方法无需改变原本光路结构，十分容易实现临时搭建与运用，操作步骤相对简单，且对实验仪器及实验环境要求不高，易于实现。
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公开(公告)号：CN111580346A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN202010434655.5
申请日：2020-05-21
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明公开了一种DMD光刻系统中倾角及放大倍率的测量和校正方法，属于光学技术领域，本发明根据测得的数据进行相应的计算，可补偿平台倾角和校正投影放大倍率，无需对掩模图进行复杂的处理，只需要运用简单的数学关系去计算平台移动距离，即可实现倾角的补偿，改善图案错位、模糊等现象，可使配置二维移动平台的DMD无掩模光刻系统实现理想应用，达到制备大规模结构的目的。本发明的校正方法，不仅成本低，而且无需大面积的测试板面、大距离的移动以及高精度的测试仪器，只需要实验室显微镜进行测量即可。此外，本发明减少了加工前期图像处理的麻烦，适用于大多数的光刻系统，应用性比较广。
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公开(公告)号：CN112099218A
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN202010984072.X
申请日：2020-09-18
Applicant: 吉林大学
IPC: G02B21/24 , G02B21/33 , G02B21/36 , G02B21/00 , B23K26/046 , B23K26/064
Abstract: 本发明公开了一种飞秒激光系统图像调焦方法，属于飞秒激光系统直写加工技术领域，借助激光划过基片表面墨痕的方式找到激光光斑聚焦位置，以此为准，固定CCD，加工物镜，压电平台三个调节硬件，将物的位置作为唯一调节变量，确定调焦光路中物的对应位置并固定，以成像状态清晰度间接反映激光聚焦状态。若CCD在同一位置，既能观测到清晰的基片表面，又能观测到清晰条纹成像，说明调焦准确。后续加工中，为了弥补不同基片之间的高度差，只需要微调加工物镜z向位置使条纹清晰即可。本发明的调焦方法无需改变原本光路结构，十分容易实现临时搭建与运用，操作步骤相对简单，且对实验仪器及实验环境要求不高，易于实现。
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公开(公告)号：CN111580352A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN202010511038.0
申请日：2020-06-08
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明公开了一种用于数字光刻系统中旋转转台转心的测量和校正方法，属于光学技术领域，具体步骤包括，步骤一：配置基于旋转转台的DMD数字光刻系统；步骤二：基于分区域连续旋转的静态刻写：步骤三：基于光刻基片图像数据计算转心的方法：步骤四：转心的校正。本发明中的DMD光刻系统配置了旋转转台，可通过加载一幅掩模图，旋转转台实现旋转对称图形的刻写，若将转台旋转和加载图形配合，有望实现更复杂图形的加工。为了实现旋转转台的理想应用，本发明对旋转转台的转心进行了测量和校正。
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公开(公告)号：CN206627161U
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201720427069.1
申请日：2017-04-21
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本实用新型涉及一种季冻区混凝土桥梁参数采集装置，属于一种桥梁参数采集装置。温度传感器和湿度传感器分两层设置在桥梁的内部、且以“V”字型相互交错分布，第一层传感器组埋置在距桥梁表面下方厘米处，第二层传感器组埋置在距第一层传感器下方15厘米处；桥梁支座每个面的三等分线处有两个孔，加速度传感器布置在该孔内，风速传感器固定在桥墩的侧面上、且以螺旋线绕桥墩分布，相邻的风速传感器之间的高度差为1米。优点是结构新颖，采集装置分别采集了桥梁频率与环境参数，采集的桥梁频率直接反映了桥梁受外加荷载冲击的损伤情况，使采集到的数据更加精确，有代表性，更能有效实时地反映桥梁的健康状态，适合整个桥梁的多点监控。
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