微纳米级多传感器测量机坐标统一方法

    公开(公告)号:CN116576774A

    公开(公告)日:2023-08-11

    申请号:CN202310557057.0

    申请日:2023-05-17

    IPC分类号: G01B11/00

    摘要: 本发明公开了一种微纳米级多传感器测量机坐标统一标定方法,设置标定器,利用微纳米白光干涉仪和三坐标测量机分别对标定器各测量面进行测量,获得各测量面在对应坐标系中的空间方程及标定器上端面中心点的空间坐标及方向向量,利用所获得的数据计算出两坐标间的平移矩阵和旋转矩阵,以确定白光干涉仪和三坐标测量机坐标系间的空间位置关系并将三坐标测量机所测量数据统一到白光干涉仪坐标系中,从而实现微纳米级多传感器测量机的坐标统一。

    一种二维共平面工作台六自由度实时测量系统

    公开(公告)号:CN114705137A

    公开(公告)日:2022-07-05

    申请号:CN202210435445.7

    申请日:2022-04-24

    IPC分类号: G01B11/26

    摘要: 本发明公开了一种二维共平面工作台六自由度实时测量系统,针对二维工作台设置测量单元;二维工作台中二维移动台以面面接触安装在固定基座上,在固定基座上以平面间的相互滑动实现XOY面的二维运动,形成二维共平面工作台;测量单元包括X向测量单元和Y向测量单元,由各自单元的CCD测量模块和位移测量模块构成;测量系统基于CCD测量模块中CCD传感器检测获得的图像实现对二维工作台的直线度运动误差和角度误差的实时测量,基于激光干涉仪对X向和Y向的运动位移进行实时测量,由此实现二维共平面工作台六自由度实时测量系统。本发明能够满足在高精度坐标测量机和机床中的应用;其共平面设计的XY二维工作台能有效减小堆叠式二维工作台运动耦合造成的机构误差。

    一种基于图像的迟滞模型校正AFM扫描图像迟滞的方法

    公开(公告)号:CN108009995B

    公开(公告)日:2021-11-19

    申请号:CN201711068122.4

    申请日:2017-11-03

    IPC分类号: G06T5/00 G06K9/62

    摘要: 本发明公开了一种基于图像的迟滞模型校正AFM扫描图像迟滞的方法。包括如下步骤:1)建立基于图像的迟滞模型。2)获取原子力显微镜的正向扫描图像和反向扫描图像,对这两幅图像进行特征点匹配,得到多组匹配的特征点的坐标信息。3)根据匹配的特征点在两幅图像中的坐标信息,计算迟滞模型中的参数。4)根据迟滞模型分别对正向扫描图像和反向扫描图像进行坐标变换重构,得到校正迟滞后的图像。本发明提出了一种合理、简单的基于扫描图像的迟滞模型,使用原始扫描得到的图像即可进行迟滞校正,无需对原子力显微镜进行硬件上的改造,节约了成本,可以为原子力显微镜提供低迟滞的高品质图像。

    单摄像头辅助坐标测量机测量微小工件的自动引导方法

    公开(公告)号:CN113237425A

    公开(公告)日:2021-08-10

    申请号:CN202110518658.1

    申请日:2021-05-12

    IPC分类号: G01B11/00

    摘要: 本发明公开了一种单摄像头辅助坐标测量机测量微小工件的自动引导方法,利用固定在三坐标测量机基座上的相机针对待测工件和坐标测量机所配测针上的测球进行拍摄获得图像;识别所拍摄图像中的待测工件及测球,引导测球沿测量机X轴、Y轴和Z轴运动,使测球向待测工件移动;根据待测工件与测球的位置关系引导X轴,再根据Tenengrad函数计算图像的清晰程度,引导Y轴、Z轴,将测球引导至测量位置。本发明能够适用于接触式探头测量微型工件,可引导坐标测量机对小孔进行测量,实现快速高精度的全自动引导,使接触式探头在测量工件时能够快速、准确地到达待测工件的测量位置继而实现自动测量。

    一种基于图像处理的手机壳内部尺寸测量装置

    公开(公告)号:CN105987668A

    公开(公告)日:2016-10-05

    申请号:CN201610021560.4

    申请日:2016-01-11

    IPC分类号: G01B11/02 G01B11/06

    CPC分类号: G01B11/02 G01B11/0608

    摘要: 本发明公开了一种基于图像处理的手机壳内部尺寸测量装置,在中间支撑框上设置四个横放的固定板,固定板用来固定基于弹性机构的测头单元。在测头单元的转接杆正前方设置一CCD,CCD通过尾部的外螺纹与CCD固定板的螺纹孔连接,CCD固定板通过两端的螺纹孔与支腿连接。测量手机壳侧面阶高和槽深时的测头单元将转接杆设置在测量杆尾部。在基于弹性机构的测头单元正上方设置一大市场CCD,CCD通过尾部的外螺纹与CCD固定板的螺纹孔连接,CCD固定板通过两端的螺纹孔与上支撑框连接。本发明能够获得高精度、高灵敏度的探测效果,可以测量非接触方法难以测量的深孔、台阶等尺寸;同时具有高稳定性、低成本且装调方便的优势。

    微测球制备与监测装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105967141A

    公开(公告)日:2016-09-28

    申请号:CN201610302455.8

    申请日:2016-05-04

    IPC分类号: B81C99/00 B81C1/00

    摘要: 本发明公开了一种微测球制备与监测装置,包括磁场发生系统、三维位移调整机构、送丝机构,图像监测系统四大部分。磁场发生系统主要是U型电磁铁,三维位移调整机构包括二维平移台、一维平移台、钨丝导向管,火花塞等。而送丝机构包括传动轮、压轮,送丝轮,原料供应部分。图像监测系统包括显微物镜、第三代无限远光结构镜头,支架等部分。本发明解决了钨球和钨杆偏心的问题,也解决了重力对球度影响的问题。提高了球度,偏心的精度,也使球体动态形成的过程监测成为可能。

    一种直线度和滚转角误差同时测量系统

    公开(公告)号:CN114812443B

    公开(公告)日:2024-08-02

    申请号:CN202210435029.7

    申请日:2022-04-24

    IPC分类号: G01B11/26 G01B11/27

    摘要: 本发明公开了一种直线度和滚转角误差同时测量系统,由固定单元和移动测量单元构成收发一体式结构,在固定单元中采用平行双光束法实现测量,利用由棱形棱镜和直角棱镜在斜面胶合构成的组合棱形棱镜保持平行光束的平行度有效提高测量精度;在移动测量单元中采用刀刃边缘反射镜作为感测转换元件;当移动工作台存在垂直直线度误差和滚转角误差时,刀刃边缘反射镜的刀刃反射边缘切割测量光束,改变反射光束光强,并由光电探测器检测获得光强变化信息,依此实现垂直直线度和滚转角误差的高精度测量。

    一种未知分布的激光干涉仪测量结果不确定度评定方法

    公开(公告)号:CN116907336A

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202310870466.6

    申请日:2023-07-14

    IPC分类号: G01B9/02 G06F17/18

    摘要: 本发明公开了一种未知分布的激光干涉仪测量结果的不确定度评定方法,是用于对非高斯及分布类型未知的测量结果进行不确定度评定;该方法的步骤包括:1使用beta分布统示法表示测量结果;2将beta分布的参数作为待估参数,利用贝叶斯统计方法建立状态空间模型;3确定beta分布参数的先验分布,基于粒子滤波方法对测量结果的beta分布参数进行递归估计;4根据分布参数估计值得出干涉仪测量结果的分布类型及其不确定度。本发明方法可通过beta分布表征激光干涉仪测量结果的多种分布类型,从而能解决分布类型未知的测量结果最优估计及不确定度评定问题。

    单摄像头辅助坐标测量机测量微小工件的自动引导方法

    公开(公告)号:CN113237425B

    公开(公告)日:2022-07-12

    申请号:CN202110518658.1

    申请日:2021-05-12

    IPC分类号: G01B11/00

    摘要: 本发明公开了一种单摄像头辅助坐标测量机测量微小工件的自动引导方法,利用固定在三坐标测量机基座上的相机针对待测工件和坐标测量机所配测针上的测球进行拍摄获得图像;识别所拍摄图像中的待测工件及测球,引导测球沿测量机X轴、Y轴和Z轴运动,使测球向待测工件移动;根据待测工件与测球的位置关系引导X轴,再根据Tenengrad函数计算图像的清晰程度,引导Y轴、Z轴,将测球引导至测量位置。本发明能够适用于接触式探头测量微型工件,可引导坐标测量机对小孔进行测量,实现快速高精度的全自动引导,使接触式探头在测量工件时能够快速、准确地到达待测工件的测量位置继而实现自动测量。