本发明公开了一种单摄像头辅助坐标测量机测量微小工件的自动引导方法，利用固定在三坐标测量机基座上的相机针对待测工件和坐标测量机所配测针上的测球进行拍摄获得图像；识别所拍摄图像中的待测工件及测球，引导测球沿测量机X轴、Y轴和Z轴运动，使测球向待测工件移动；根据待测工件与测球的位置关系引导X轴，再根据Tenengrad函数计算图像的清晰程度，引导Y轴、Z轴，将测球引导至测量位置。本发明能够适用于接触式探头测量微型工件，可引导坐标测量机对小孔进行测量，实现快速高精度的全自动引导，使接触式探头在测量工件时能够快速、准确地到达待测工件的测量位置继而实现自动测量。