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公开(公告)号:CN115602681A
公开(公告)日:2023-01-13
申请号:CN202111005963.7
申请日:2021-08-30
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司(TW) , 台积电(中国)有限公司(CN)
IPC: H01L27/02 , H01L23/66 , H01L21/768
Abstract: 本申请涉及集成有硅穿孔的静电放电保护单元和天线。一种半导体器件,包括:硅穿孔(TSV),在衬底中的TSV区域中,并且TSV延伸穿过衬底;ESD单元,靠近TSV的第一端并与TSV区域接触,ESD单元包括彼此并联电连接的一组二极管;天线焊盘,电连接到TSV的第二端;以及天线,电连接到天线焊盘并在第一方向中延伸,第一方向平行于TSV的长轴。半导体器件包括:导电柱,在衬底的与天线焊盘相同的一侧平行于TSV延伸,其中,导电柱的第一端电连接到天线焊盘,并且导电柱的第二端电连接到ESD单元的该组二极管。