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公开(公告)号：CN101261285A
公开(公告)日：2008-09-10
申请号：CN200710106561.X
申请日：2007-06-06
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
CPC classification number: G01R31/2891
Abstract: 本发明公开了自动管理探针记号偏移的系统和方法。由测试数据确定在一晶片上的一晶粒是否有缺陷。于该晶片上执行一探针记号确认，以确定一探针记号是否偏移。对应于偏移的该探针记号执行一必须的恢复动作。在该探针记号确认中，从该测试数据中选取多个探针记号位置。并确定该多个探针记号位置中是否有至少一个违反一工程规则。
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