一种互锁一体化微结构的压力传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN115805375B

    公开(公告)日:2024-07-30

    申请号:CN202211464847.6

    申请日:2022-11-22

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明提供了一种互锁一体化微结构的压力传感器,一体化压力敏感层包括正锥度微结构、负锥度微结构和下压力敏感层;正锥度微结构和负锥度微结构分别设置在下压力敏感层的上表面,负锥度微结构和正锥度微结构分别呈阵列设置,并且负锥度微结构位于呈矩形排列的四个正锥度微结构的中心处以形成互锁配合关系;一体化压力敏感层与上压力敏感层聚合连接,形成总压力敏感层;总压力敏感层与上电极、下电极电性连接,上封装层、下封装层与电极固定连接。本发明还提了上述压力传感器的制造方法,通过五轴振镜飞秒激光器在聚合物上进行负锥度微结构和正锥度微结构一体化的压力敏感层制造,通过一体化的结构设计使得传感器稳定性得到提升。

    一种加工周期性微结构的五轴振镜激光精密加工方法

    公开(公告)号:CN116765646A

    公开(公告)日:2023-09-19

    申请号:CN202310865629.1

    申请日:2023-07-14

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明提供了加工周期性微结构的五轴振镜激光精密加工方法:S1:选择合适的微结构类型和微结构材料;S2:利用光学设计和模拟软件依据性能指标和光学原理设计周期性微结构参数并验证可行性;S3:根据关键结构参数构建周期性微结构三维模型并导入五轴振镜激光加工装置中;S4:依据周期性微结构模型的二维特征点位置,计算加工装置控制X、Y、α和β的振镜偏转角度;S5:计算特征点相对初始点的振镜偏转角度的变化值,引入智能算法依据变化值之和的最小值进行合适的激光路径规划;S6:改变Z轴进行逐层扫描,并重复所述步骤S5;S7:收集实验加工相关参数与周期性微结构性能测试结果。

    一种基于双光楔的高动态的五轴激光加工装置

    公开(公告)号:CN119658114A

    公开(公告)日:2025-03-21

    申请号:CN202510098278.5

    申请日:2025-01-22

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明提供一种基于双光楔的高动态的五轴激光加工装置,能有效提高五轴激光加工装备的性能,装置包括激光发生器、光场调控模组、双光楔光束偏移模组、调焦扩束模组、分光镜、观测系统、扫描模组、聚焦模组、运动平台、控制系统和操作软件;所述激光发生器产生激光束,激光束经过所述光场调控模组进行调控后进入所述双光楔光束偏移模组;所述双光楔光束偏移模组进行激光束偏离光轴,激光束与光轴平行并进入所述调焦扩束模组;所述调焦扩束模组放大激光束的离轴量并改变激光束发散角和直径;随后激光束通过所述分光镜进入所述扫描模组;激光束通过所述扫描模组后与光轴不平行,最后激光束经过所述聚焦模组进行聚焦后传输至运动平台上的加工表面。

    一种具有恒温控制功能的振镜电机

    公开(公告)号:CN119253945A

    公开(公告)日:2025-01-03

    申请号:CN202411439740.5

    申请日:2024-10-15

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明公开了一种具有恒温控制功能的振镜电机,其包括电机本体组件和恒温控制组件,电机本体组件包括从外向内依次设置的电机外壳、电机定子和电机转轴,恒温控制组件包括温度传感器、中段恒温器、尾段恒温器和恒温外壳,中段恒温器和尾段恒温器上下安装在电机壳体外壁,恒温外壳设置在中段恒温器和尾段恒温器外部,温度传感器检测电机本体组件的温度,反馈给中段恒温器和尾段恒温器,通过中段恒温器和尾段恒温器分别为电机本体组件进行温度控制。本发明通过有效的温度控制,减少电机本体组件的温度漂移,还能确保在环境温度较低的情况下电机本体组件的启动和运行性能。

    基于折射反射混合式光束平移单元的变入射角激光加工装置与加工方法

    公开(公告)号:CN118789098A

    公开(公告)日:2024-10-18

    申请号:CN202411151118.4

    申请日:2024-08-21

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明提供了一种基于折射反射混合式光束平移单元的变入射角激光加工装置与加工方法,所述加工装置包括激光发生单元、混合式光束平移单元、动态调焦单元、光束扫描单元和聚焦单元;所述的激光发生单元用以产生平行激光束以进入所述混合式光束平移单元,所述平行激光束的传播方向为Z方向;所述混合式光束平移单元包括两个相同的混合式光束平移元件,所述混合式光束平移元件用于接收所述平行激光束,所述混合式光束平移元件能使所述平行激光束先发生折射再发生反射再发生折射以平行出射,其中,X和Y方向分别与Z方向垂直,可以实现大范围入射角可调,从而实现复杂结构和曲面的高精度加工。

    一种吸液芯及环路热管装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118347326A

    公开(公告)日:2024-07-16

    申请号:CN202410614694.1

    申请日:2024-05-17

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种吸液芯及环路热管装置,包括相互连通的第一吸液通道、第二吸液通道以及第三吸液通道,所述第一吸液通道、第二吸液通道以及第三吸液通道的初始孔径逐渐增大,且第一吸液通道、第二吸液通道以及第三吸液通道的初始孔隙密度逐渐减小,使得该吸液芯具有较大的比表面积和孔隙密度,可以增大工作流体与吸液芯的接触面积,从而增强热传导效率。

    一种互锁一体化微结构的压力传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN115805375A

    公开(公告)日:2023-03-17

    申请号:CN202211464847.6

    申请日:2022-11-22

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明提供了一种互锁一体化微结构的压力传感器,一体化压力敏感层包括正锥度微结构、负锥度微结构和下压力敏感层;正锥度微结构和负锥度微结构分别设置在下压力敏感层的上表面,负锥度微结构和正锥度微结构分别呈阵列设置,并且负锥度微结构位于呈矩形排列的四个正锥度微结构的中心处以形成互锁配合关系;一体化压力敏感层与上压力敏感层聚合连接,形成总压力敏感层;总压力敏感层与上电极、下电极电性连接,上封装层、下封装层与电极固定连接。本发明还提了上述压力传感器的制造方法,通过五轴振镜飞秒激光器在聚合物上进行负锥度微结构和正锥度微结构一体化的压力敏感层制造,通过一体化的结构设计使得传感器稳定性得到提升。

    一种增强灵敏度的微气压传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN119334525A

    公开(公告)日:2025-01-21

    申请号:CN202411457894.7

    申请日:2024-10-18

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种增强灵敏度的微气压传感器及其制备方法,包括壳体、感压薄膜、绝缘基底和电极组,壳体设有空腔和进气口,感压薄膜设置于空腔内以将其分隔为互不连通的第一腔和第二腔,第一腔与进气口连通,第二腔为真空腔;绝缘基底设置于第二腔内且与感压薄膜之间形成有间隔;电极组安装于绝缘基底的与感压薄膜相对侧以将因感压薄膜形变所产生的电容变化信号输出,且电极组的相对感压薄膜一侧设置有第二微结构,感压薄膜的与第二微结构相对侧设置有第一微结构,感压薄膜在第一腔和真空腔的压力差作用下产生形变,感压薄膜形变至第二微结构和第一微结构接触贴合时能形成互锁微结构实现过载保护。本发明能增大电容变化量,提高精度和灵敏度。

    一种实时调整激光入射角的微孔加工方法

    公开(公告)号:CN119141036A

    公开(公告)日:2024-12-17

    申请号:CN202411159779.1

    申请日:2024-08-22

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明提供了一种实时调整激光入射角的微孔加工方法,S1:依据具体应用环境和使用性能要求确定微孔材料类型、微孔尺寸及深径比等参数;S2:针对所述的微孔材料类型和特征参数,编写加工路径图档,控制激光束逐层以螺旋线方式按照图档路径进行打孔;S3:对每一层进行加工时,激光按照图档路径以螺旋线方式进行扫描,之后在边缘位置以同心圆方式进行修边;S4:通过实验拟合出入射角和锥度的函数关系,调节每层激光加工的入射角,并通过该函数确定每层入射角度的补偿量逐层递减补偿,消除通孔正锥度;S5:如此循环,按照这种方式,完成所有层数的加工;S6:最后一层加工结束后,以同心圆方式进行自下而上、自上而下往复修边,实现微孔高质量加工。

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