公开(公告)号：CN103888015B

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201410154341.4

申请日：2014-04-17

Applicant: 厦门大学

Inventor： 郑建毅 ,  王俊清 ,  郑高峰 ,  杨群峰

IPC: H02M9/04

Abstract: 本发明涉及一种用于时效处理的高密度高能电脉冲发生装置，包括三相整流升压电路、充电时序转换开关、n组电感隔离型Marx发生器、触发时序转换开关和脉冲输出端组件，所述三相整流升压电路输出端连接至充电时序转换开关活动端子，该充电时序转换开关的固定端与n组电感隔离型Marx发生器输入端连接，所述触发时序转换开关与n组电感隔离型Marx发生器首端连接，该n组电感隔离型Marx发生器的高能电脉冲输出端与脉冲输出端组件的铜片端子引线相连接，该铜片端子与均匀贴附于工件上，实现输出高能电脉冲传输给工件以对工件进行时效处理，以及将高能电脉冲波形信息显示存储。本发明利用多个电感隔离型Marx发生器的储能电容器并联充电、串联放电产生高能电脉冲对工件时效处理。

公开(公告)号：CN204514510U

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201520060445.9

申请日：2015-01-29

Applicant: 厦门大学

Inventor： 郑建毅 ,  王俊清 ,  杨群峰 ,  林俊辉 ,  赵雪楠

IPC: G01L1/00

Abstract: 本实用新型涉及功能薄膜应力测量结构。本实用新型的一种二级微位移放大结构，包括：固定梁、旋转梁、指针梁、刻度尺、固定梁连接颈、旋转梁连接颈、指针梁连接颈和固定端。薄膜应力测量结构在薄膜上采用刻蚀技术制备，固定梁的一端连接在固定端，在薄膜下方的牺牲层去除之后，由于薄膜内部的残余应力作用，固定梁产生的伸缩位移通过固定梁连接颈传递给旋转梁，旋转梁将位移进行一级放大，放大后的位移然后经指针梁连接颈传递给指针梁，在对称布置的两个指针梁连接颈的作用下对位移二次放大，二次放大后的位移转变为指针梁的左右摆动，指针梁尖端摆动的值通过刻度尺上的刻度读出。结构简单、位移放大倍数高。

公开(公告)号：CN204699907U

公开(公告)日：2015-10-14

申请号：CN201520230460.3

申请日：2015-04-16

Applicant: 厦门大学

Inventor： 郑建毅 ,  林俊辉 ,  杨群峰 ,  王俊清 ,  林舒佳 ,  魏大银 ,  郑高峰

IPC: B06B1/04

Abstract: 本实用新型涉及一种激振装置，特别是涉及一种永磁体式激振装置，包括：一底盖，所述底盖上设有一筒体，底盖位于筒体内的区域设有一磁钢，所述磁钢顶部连接有磁极，所述筒体上设有一上盖，所述磁极伸入上盖内部，所述底盖、筒体、磁钢、磁极、上盖及上盖内部的空气间隙构成一开磁路，所述上盖上挖设一通孔，通孔内嵌套设有一动圈，所述动圈底部伸出通孔下端并置于所述空气间隙，动圈顶部伸出通孔上端，动圈顶部和底部分别通过弹片固定在上盖上，动圈上绕设有线圈，线圈连通交变电流，并在安培力的作用下带动动圈产生上下运动。本实用新型所提供了一种永磁体式激振装置，具有较简单的电磁回路，具有相对较高的有效振动质量。

公开(公告)号：CN204570029U

公开(公告)日：2015-08-19

申请号：CN201520066952.3

申请日：2015-01-30

Applicant: 厦门大学

Inventor： 郑建毅 ,  王俊清 ,  杨群峰 ,  林俊辉 ,  赵雪楠

IPC: C23C16/44

Abstract: 本实用新型涉及一种低压化学气相沉积装置，包括真空机组、沉积室、激振装置、反应室、反应气体通道和控制器，所述反应气体通道与反应室进气口连通，所述反应室排气口与真空室进气口连通，所述真空室排气口通过进气管与真空机组连通，所述激振装置包括激振器和激振台，所述激振台设置于沉积室内，所述激振器通过输出杆与激振台传动配合连接，反应室外壁围绕设有加热丝，所述反应气体通道内气体的输入开关由控制器控制，所述激振器和加热丝的开关均由控制器控制。本实用新型利用激振器产生的振动在薄膜沉积过程中对薄膜残余应力进行消除，实现薄膜应力在线消除，实现低应力薄膜的快速沉积制造。

公开(公告)号：CN204514280U

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201520066018.1

申请日：2015-01-30

Applicant: 厦门大学

Inventor： 郑建毅 ,  杨群峰 ,  魏大银 ,  赵雪楠 ,  王俊清

IPC: G01B11/24

Abstract: 本实用新型涉及非接触式测试技术领域，具体涉及一种非接触式样品表面轮廓测试装置。一种非接触式样品表面轮廓测试装置，激光位移传感器数据采集装置，三维精密平移台，X向精密平移台，Y向精密平移台，X向步进电机，Y向步进电机，平移台控制机，数据采集计算机，电机控制线路和数据传输线路,精密平移台在平面方向移动时激光位移传感器对样品表面的轮廓进行测试并将测试结果经数据传输线传输给数据采集计算机，数据采集计算机对数据进行存储及显示，表面数据用来表征样品表面轮廓形貌，进而作为下一步对样品表面进行分析数据。整个结构具有精度高、测量重复性好、经济性好，装置搭建简单等优点。