公开(公告)号：CN204699907U

公开(公告)日：2015-10-14

申请号：CN201520230460.3

申请日：2015-04-16

Applicant: 厦门大学

Inventor： 郑建毅 ,  林俊辉 ,  杨群峰 ,  王俊清 ,  林舒佳 ,  魏大银 ,  郑高峰

IPC: B06B1/04

Abstract: 本实用新型涉及一种激振装置，特别是涉及一种永磁体式激振装置，包括：一底盖，所述底盖上设有一筒体，底盖位于筒体内的区域设有一磁钢，所述磁钢顶部连接有磁极，所述筒体上设有一上盖，所述磁极伸入上盖内部，所述底盖、筒体、磁钢、磁极、上盖及上盖内部的空气间隙构成一开磁路，所述上盖上挖设一通孔，通孔内嵌套设有一动圈，所述动圈底部伸出通孔下端并置于所述空气间隙，动圈顶部伸出通孔上端，动圈顶部和底部分别通过弹片固定在上盖上，动圈上绕设有线圈，线圈连通交变电流，并在安培力的作用下带动动圈产生上下运动。本实用新型所提供了一种永磁体式激振装置，具有较简单的电磁回路，具有相对较高的有效振动质量。

公开(公告)号：CN204570029U

公开(公告)日：2015-08-19

申请号：CN201520066952.3

申请日：2015-01-30

Applicant: 厦门大学

Inventor： 郑建毅 ,  王俊清 ,  杨群峰 ,  林俊辉 ,  赵雪楠

IPC: C23C16/44

Abstract: 本实用新型涉及一种低压化学气相沉积装置，包括真空机组、沉积室、激振装置、反应室、反应气体通道和控制器，所述反应气体通道与反应室进气口连通，所述反应室排气口与真空室进气口连通，所述真空室排气口通过进气管与真空机组连通，所述激振装置包括激振器和激振台，所述激振台设置于沉积室内，所述激振器通过输出杆与激振台传动配合连接，反应室外壁围绕设有加热丝，所述反应气体通道内气体的输入开关由控制器控制，所述激振器和加热丝的开关均由控制器控制。本实用新型利用激振器产生的振动在薄膜沉积过程中对薄膜残余应力进行消除，实现薄膜应力在线消除，实现低应力薄膜的快速沉积制造。

公开(公告)号：CN204251706U

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：CN201420654602.4

申请日：2014-11-05

Applicant: 厦门大学

Inventor： 郑建毅 ,  杨群峰 ,  林俊清 ,  林俊辉 ,  郑高峰

IPC: C23C16/44

Abstract: 本实用新型涉及一种低压化学气相沉积装置，本实用新型的一种附加振动低压化学气相沉积装置，上端盖、进气法兰、筒体、排气法兰密封连接，排气法兰、下端盖密封成真空腔体，筒体周围套设有加热架，加热架内设有加热丝，上端盖上通过进气管路与一供气装置连通，排气法兰通过抽气管与一机械泵连通，机械泵上还设有排气管，真空腔体内竖直设有多根固定杆，固定杆上水平设有一弹簧板，弹簧板上设有一工作台，工作台上设有一收集板，工作台底部连接设有一连接孔，下端盖下方设有一激振器，激振器输出端连接配合以传输杆，传输杆穿透下端盖后伸入工作台底部的连接孔内，并分别与下端盖和工作台固定连接。本实用新型能够达到低能耗、低耗时、低应力的效果。

公开(公告)号：CN204514510U

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201520060445.9

申请日：2015-01-29

Applicant: 厦门大学

Inventor： 郑建毅 ,  王俊清 ,  杨群峰 ,  林俊辉 ,  赵雪楠

IPC: G01L1/00

Abstract: 本实用新型涉及功能薄膜应力测量结构。本实用新型的一种二级微位移放大结构，包括：固定梁、旋转梁、指针梁、刻度尺、固定梁连接颈、旋转梁连接颈、指针梁连接颈和固定端。薄膜应力测量结构在薄膜上采用刻蚀技术制备，固定梁的一端连接在固定端，在薄膜下方的牺牲层去除之后，由于薄膜内部的残余应力作用，固定梁产生的伸缩位移通过固定梁连接颈传递给旋转梁，旋转梁将位移进行一级放大，放大后的位移然后经指针梁连接颈传递给指针梁，在对称布置的两个指针梁连接颈的作用下对位移二次放大，二次放大后的位移转变为指针梁的左右摆动，指针梁尖端摆动的值通过刻度尺上的刻度读出。结构简单、位移放大倍数高。