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公开(公告)号:CN119767891A
公开(公告)日:2025-04-04
申请号:CN202411992297.4
申请日:2024-12-31
Applicant: 厦门大学
IPC: H10H20/814 , H10H20/812 , H10H20/858 , H10H20/01
Abstract: 本发明公开了一种缓解电流拥挤效应的Micro‑LED器件及其制备方法,其外延结构由背面至正面按序包括衬底、缓冲层、n‑GaN层,多量子阱层和p‑GaN层,并通过正面蚀刻至n‑GaN层形成发光台面;p‑GaN层上设有电流扩展层,电流扩展层上设有p电极,n‑GaN层上设有n电极;其中p‑GaN层的正面于电流扩展层下方具有若干凹槽,凹槽内填充高反射率的金属导电材料,显著改善了电流在整个器件中的均匀分布,提高了器件的电流扩展能力,能够显著提升器件的稳定性、可靠性。