公开(公告)号：CN115840264B

公开(公告)日：2025-02-11

申请号：CN202211555463.5

申请日：2022-12-06

Applicant: 厦门大学

Inventor： 吴光兴 ,  周锐 ,  洪明辉

IPC: G02B3/00 ,  G02B21/02

Abstract: 本发明涉及光学成像领域，特别涉及一种微球透镜组、全微球光学纳米显微镜。发明提供一种微球透镜组，包括：若干个微球透镜，若干个所述微球透镜按照同轴心的方式垂直叠置构成。本发明通过设计多个微球透镜构成的透镜组，达到超越单个光学微球的放大率以及实像成像模式，进而使得投影到光学相机上的纳米结构的像可以直接被分辨出来，实现全微球的光学纳米显微成像。本发明提供一种全微球光学纳米显微镜，包括：光源装置；微球透镜组；透镜组支架；光电转换装置。采用本发明提供的全微球光学纳米显微镜，其具有对纳米结构的样品进行实像放大的能力，使之处于光电转换装置可分辨的尺度范围内，并且具有制备工艺简单，价格低廉，分辨率高，结构小巧便携等优点。

公开(公告)号：CN119260167A

公开(公告)日：2025-01-07

申请号：CN202411436976.3

申请日：2024-10-15

Applicant: 厦门大学

Inventor： 谢超雄 ,  洪明辉

IPC: B23K26/08 ,  B23K26/352 ,  B23K26/60 ,  B23K26/70

Abstract: 本发明提出了一种电磁感应加热辅助激光快速加工无涂层不粘锅的方法和装置，包括：预处理，将待加工的金属锅的锅底进行冲洗和烘干；参数设置，选取大小合适的金属线圈，在电磁感应加热设备上设置合适的电源参数；高温预热，打开测温仪和电磁感应加热设备的电源开关，利用电磁感应原理给金属锅锅底快速加热；激光图案化加工，使激光束按照设计的图案化轨迹对金属锅锅底进行加工，得到图案化微结构；表征测试，进行疏水性能表征。利用电磁感应原理，通过调节电磁感应加热设备能够快速地、无接触地将金属锅锅底加热至合适的温度，在金属锅锅底表面加工区进行图案化加工出具有超疏水效果的微结构，能够快速制备出无需化学涂层的物理不粘锅。

公开(公告)号：CN116699948A

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN202310669913.1

申请日：2023-06-07

Applicant: 厦门大学

Inventor： 朱宇超 ,  洪明辉

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供了一种基于液晶显示开关控制的激光微透镜阵列光刻系统，激光发生装置用于产生激光，且使激光照射至液晶显示屏背离微透镜阵列一侧的表面；控制组件控制液晶显示屏中像素点的显示状态，显示状态包括第一显示状态和第二显示状态，照射至所述液晶显示屏上的激光被第一显示状态下的像素点截止，通过第二显示状态下的像素点入射至微透镜阵列上进而聚焦在样品表面。该激光微透镜阵列光刻系统基于液晶显示开关控制使液晶显示屏可以控制激光的通过与截止，即使微透镜阵列光刻的单个微透镜直写可控，显然充分利用液晶显示开关控制的可编程性结合微透镜阵列光刻周期性大面积快速的优势，即可实现激光微透镜阵列周期性和非周期性阵列图案化光刻。

公开(公告)号：CN115933327A

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202211584595.0

申请日：2022-12-09

Applicant: 厦门大学 ,  嘉庚创新实验室

Inventor： 周锐 ,  刘祥福 ,  高娜 ,  严星 ,  王振忠 ,  洪明辉

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及半导体微纳器件加工制造技术领域，本发明提供一种对准套刻装置，其包括转台、位移装置、对准图案采集系统和对准图案分析系统，转台上放置有样片，位移装置连接转台的底部用于将转台位移至指定位置，对准图案采集系统对准转台，用于获取样片的图像，样片的图像至少包括阵列结构轮廓，对准图案分析系统耦接对准图案采集系统，用于将获得的阵列结构轮廓与预设标准图案进行比对，以判断样片是否对准，当判断样片处于未对准状态时，转台进行转动调节，直至样片处于对准状态。借此，无需在掩膜版和样片上加工多个标记来进行对准，便可以实现整个样片的图像对准，省去多个高精度相机反复调整寻找对准标记的繁杂步骤，使对准套刻工艺更高效。

公开(公告)号：CN116814943A

公开(公告)日：2023-09-29

申请号：CN202310516385.6

申请日：2023-05-09

Applicant: 厦门大学

Inventor： 洪明辉 ,  陈哲堃

IPC: C21D10/00 ,  B23K26/352

Abstract: 本发明提供一种疏粉末表面及其制备方法和应用，该表面形成有至少一层纳米波纹结构，纳米波纹结构的特征尺寸为1‑100μm；优选地，表面自上而下依次形成波纹方向不平行的一级结构和二级结构，二级结构的特征尺寸小于一级结构的特征尺寸，一级结构的平均深度大于二级结构，二级结构的特征尺寸为1‑5μm，表面为硬质金属表面。疏粉末表面基于脉冲激光的表面纹理技术修饰金属/合金基材的表面形貌，在基底上构筑微米级沟壑状突起的表面微纳结构，减小粉末颗粒和基底间的接触面积，从而减小粉末的粘附力，通过倾斜表面即可使附着在基底上的粉末自然脱落。该方案可适用于任何需要防止粉末污染的制品、设备或加工环境中，实现表面粉末粘附面积大幅降低的效果。

公开(公告)号：CN119566568A

公开(公告)日：2025-03-07

申请号：CN202411906800.X

申请日：2024-12-23

Applicant: 厦门大学

Inventor： 刘祥福 ,  洪明辉

IPC: B23K26/38 ,  B23K26/70

Abstract: 本发明公开了一种基于加热辅助激光加工的晶圆切片方法及晶圆，应用于半导体晶圆加工技术领域，包括：将晶圆加热至预设温度；预设温度小于晶圆的熔化温度；将激光聚焦在处于预设温度的晶圆的预设深度处，使晶圆在预设深度处形成激光照射区以及位于激光照射区外侧的裂纹扩展区；移动激光在处于预设温度的晶圆预设深度的聚焦位置，使相邻激光照射区外侧的裂纹扩展区相连形成主裂纹，分离晶圆。由于激光和外部加热共同作用可以产生均匀的热应力拉伸微裂纹尖端，使纳米裂纹生长时更加的平滑，进而可以具有更低的切缝损耗，提高切面的表面质量。通过预先对晶圆进行加热，可以使得晶圆内热应力分布的更加均匀，减少激光照射时由于热应力集中导致的晶圆破碎。

公开(公告)号：CN119501342A

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN202411642783.3

申请日：2024-11-18

Applicant: 厦门大学

Inventor： 齐艺泉 ,  洪明辉

IPC: B23K26/382 ,  B23K26/70 ,  B23K26/046 ,  G01R33/07

Abstract: 本发明公开了一种磁场增强化学液体辅助激光打孔的装置和打孔方法，包括激光发射系统、激光振镜系统、磁场产生系统、化学液体辅助系统、磁感应强度检测系统和计算机；计算机与激光发射系统、激光振镜系统和化学液体辅助系统通讯连接，计算机控制激光发射系统、激光振镜系统和化学液体辅助系统；激光发射系统发射给样品打孔的激光，激光振镜系统控制给样品打孔的加工路径，磁场产生系统产生样品打孔时所需磁感应强度的磁场，化学液体辅助系统盛放样品和化学液体，磁感应强度检测系统检测磁场产生系统的磁感应强度。本发明在相同激光能量下，实现更小的孔壁倾斜度，更好的出口圆度与更光滑的侧壁，减少孔壁的裂纹，显著提高打孔质量和效率。

公开(公告)号：CN118268734A

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN202410404634.7

申请日：2024-04-03

Applicant: 厦门大学

Inventor： 刘祥福 ,  洪明辉

IPC: B23K26/38 ,  B23K26/082 ,  B23K26/70

Abstract: 本发明公开了一种低损耗全激光加工的晶圆切片方法及晶圆，应用于半导体晶圆加工技术领域，包括：将第一激光聚焦在晶圆的预设深度处进行加热，后使熔融的晶圆区域冷却，使晶圆的预设深度处形成非晶态的非晶区域；使用第二激光对非晶区域进行加热，以从预设深度处分离晶圆；第二激光的能量密度高于非晶区域的烧蚀阈值，低于晶圆中除非晶区域之外的晶态区域的烧蚀阈值。使用第一激光对晶圆进行加热熔融，后经过冷却可以在非晶区域及四周产生微裂纹，而激光诱导的热应力会拉伸微裂纹尖端，在晶圆硅内部形成周期性微裂纹。之后以第二激光针对性的对非晶区域进行加热，在这个过程中微裂纹会扩展连接形成主裂纹层，使晶圆完全裂开，实现晶圆的分离。

公开(公告)号：CN117532163A

公开(公告)日：2024-02-09

申请号：CN202311292866.X

申请日：2023-10-08

Applicant: 厦门大学

Inventor： 谢超雄 ,  陈哲堃 ,  洪明辉

IPC: B23K26/346 ,  B23K26/70

Abstract: 本申请提出了一种高频电磁感应加热辅助激光加工装置，其特征在于，包括激光发射系统、激光振镜系统、电磁感应加热系统、冷却系统及测温系统；激光发射系统与激光振镜系统相连；测温系统、电磁感应加热系统及冷却系统依次相连；激光发射系统被配置用于发射激光；激光振镜系统被配置用于控制激光发射系统发射出的激光路径；电磁感应加热系统被配置用于将待加工金属样品加热至目标温度；冷却系统被配置用于为电磁感应加热系统进行降温；测温系统被配置用于实时检测金属样品的温度。在相同的激光能量参数下，能实现更深的加工深度、更宽的加工宽度，以及更多加工材料的去除，还能提升样品的加工质量，提高了激光能量的利用率和激光加工的效率。

公开(公告)号：CN115840264A

公开(公告)日：2023-03-24

申请号：CN202211555463.5

申请日：2022-12-06

Applicant: 厦门大学

Inventor： 吴光兴 ,  周锐 ,  洪明辉

IPC: G02B3/00 ,  G02B21/02

Abstract: 本发明涉及光学成像领域，特别涉及一种微球透镜组、全微球光学纳米显微镜。发明提供一种微球透镜组，包括：若干个微球透镜，若干个所述微球透镜按照同轴心的方式垂直叠置构成。本发明通过设计多个微球透镜构成的透镜组，达到超越单个光学微球的放大率以及实像成像模式，进而使得投影到光学相机上的纳米结构的像可以直接被分辨出来，实现全微球的光学纳米显微成像。本发明提供一种全微球光学纳米显微镜，包括：光源装置；微球透镜组；透镜组支架；光电转换装置。采用本发明提供的全微球光学纳米显微镜，其具有对纳米结构的样品进行实像放大的能力，使之处于光电转换装置可分辨的尺度范围内，并且具有制备工艺简单，价格低廉，分辨率高，结构小巧便携等优点。