一种陶瓷基板连续化激光切割装置及其切割方法

    公开(公告)号:CN108406135A

    公开(公告)日:2018-08-17

    申请号:CN201810235477.6

    申请日:2018-03-21

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种陶瓷基板连续化激光切割装置及其切割方法,涉及陶瓷基板切割。根据连续碳化硅薄膜基板的特性,利用传动装置和激光切割装置相结合的模式,在激光的照射下对基板进行切割。同时合陶瓷薄膜的特征,通过海绵在基板切割处两边施加一定的压力,给予基板一定的强度的同时起到应力缓冲的作用,不仅解决了薄膜基板在割断瞬间的碎裂问题,还保证基板在切割时不易位,切割痕无毛刺。同时在传动装置的带动下可对连续化基板进行连续切割,实现自动化机械化操作,大大提高了切割效率。利用通过更换不同长度的链板即可将多条连续碳化硅陶瓷薄膜基板切割成器件要求的不同尺寸,实现其在功率型半导体器件封装的应用。

    一种陶瓷基板连续化激光切割装置及其切割方法

    公开(公告)号:CN108406135B

    公开(公告)日:2019-12-27

    申请号:CN201810235477.6

    申请日:2018-03-21

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种陶瓷基板连续化激光切割装置及其切割方法,涉及陶瓷基板切割。根据连续碳化硅薄膜基板的特性,利用传动装置和激光切割装置相结合的模式,在激光的照射下对基板进行切割。同时合陶瓷薄膜的特征,通过海绵在基板切割处两边施加一定的压力,给予基板一定的强度的同时起到应力缓冲的作用,不仅解决了薄膜基板在割断瞬间的碎裂问题,还保证基板在切割时不易位,切割痕无毛刺。同时在传动装置的带动下可对连续化基板进行连续切割,实现自动化机械化操作,大大提高了切割效率。利用通过更换不同长度的链板即可将多条连续碳化硅陶瓷薄膜基板切割成器件要求的不同尺寸,实现其在功率型半导体器件封装的应用。

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