用于非球面光学元件面形检测的分度装置

    公开(公告)号:CN101655356A

    公开(公告)日:2010-02-24

    申请号:CN200910112505.6

    申请日:2009-09-08

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 用于非球面光学元件面形检测的分度装置,涉及一种精确控制旋转角位移的分度装置。提供一种可以实时反馈、补偿运动量,实现精确控制角位移的用于非球面光学元件面形检测的分度装置。包括控制系统和分度装置两部分,控制系统设有工控机、接口电路板、伺服放大器、伺服电机、角度编码器和编码器数显表。分度装置设有底座、上轴承座、主轴、电机座、深沟球轴承、主轴同步带轮、电机同步带轮、同步带、旋转盘和夹具。

    一种非球面检测仪
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101464141A

    公开(公告)日:2009-06-24

    申请号:CN200910110852.5

    申请日:2009-01-09

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种非球面检测仪,涉及一种光学非球面检测设备。提供一种结合非接触式与接触式测量的优缺点,将接触式和非接触式测量融合在一起对非球面表面进行测量,通过两种方法相互补偿,以得到较高测量精度的非球面检测仪。设有结构架、检测平台、非接触激光位移测头、光栅接触式位移测头、XYZ三轴运动机构和控制装置,非接触激光位移测头和光栅接触式位移测头安装在XYZ三轴运动机构的Z轴上,检测平台设在X轴运动机构上;XYZ三轴运动机构上分别装有X轴马达、Y轴马达和Z轴马达,通过X轴马达、Y轴马达和Z轴马达带动XYZ三轴运动机构,从而实现非接触激光位移测头和光栅接触式位移测头的运动,对非球面光学元件实现三维测量。

    非球面光学元件顶点的检测方法

    公开(公告)号:CN101464136A

    公开(公告)日:2009-06-24

    申请号:CN200910110853.X

    申请日:2009-01-09

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 非球面光学元件顶点的检测方法,涉及一种非球面光学元件。提供一种原理简单、易于实现,可有效地提高非球面光学元件的检测效率,并降低非球面光学元件的检测难度的非球面光学元件顶点的检测方法。基于三坐标检测仪精确测量得到非球面光学元件表面点坐标的特点,通过三坐标检测仪在非球面光学元件表面对角两侧任取两不同点测量出坐标值,根据这两点的坐标值通过一系列的演算,并根据演算结果进行再测量,最后应用迭代算法迭代检测顶点,直至检测到顶点的满足设定精度为止才停止测量,输出满足检测精度要求的顶点坐标,否则继续测量、演算、迭代。

    用于非球面光学元件面形检测的分度装置

    公开(公告)号:CN101655356B

    公开(公告)日:2010-12-01

    申请号:CN200910112505.6

    申请日:2009-09-08

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 用于非球面光学元件面形检测的分度装置,涉及一种精确控制旋转角位移的分度装置。提供一种可以实时反馈、补偿运动量,实现精确控制角位移的用于非球面光学元件面形检测的分度装置。包括控制系统和分度装置两部分,控制系统设有工控机、接口电路板、伺服放大器、伺服电机、角度编码器和编码器数显表。分度装置设有底座、上轴承座、主轴、电机座、深沟球轴承、主轴同步带轮、电机同步带轮、同步带、旋转盘和夹具。

    轴对称非球面光学元件面形的检测方法

    公开(公告)号:CN101571382A

    公开(公告)日:2009-11-04

    申请号:CN200910111953.4

    申请日:2009-06-09

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 轴对称非球面光学元件面形的检测方法,涉及一种非球面光学元件的检测。提供一种简单、快捷、准确的轴对称非球面光学元件面形的检测方法。将光学元件固定在检测平台上,测出非球面镜顶点坐标,得通过顶点的Z轴方向的直线为轴对称非球面镜的对称轴,使光学元件顶点与检测平台中心在同一X轴上;以光学元件半径为半截面线的测量距离,确定每条半截面线扫描的步数;以光学元件的顶点为起点沿X轴方向逐点扫描被检测光学元件表面,直至半截面线全部检测完毕;测完一条半截面线后,探针回到平台的中心等待下次测量;旋转平台,移动XY轴使在XY平面上的探针坐标与光学元件顶点坐标一致,从起点开始检测,测得另一条半截面线,逐一测量,即完成检测。

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