公开(公告)号：CN101464136A

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：CN200910110853.X

申请日：2009-01-09

Applicant: 厦门大学

Inventor： 郭隐彪 ,  朱永炉 ,  刘建春 ,  刘古今 ,  陈露霜

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/24

Abstract: 非球面光学元件顶点的检测方法，涉及一种非球面光学元件。提供一种原理简单、易于实现，可有效地提高非球面光学元件的检测效率，并降低非球面光学元件的检测难度的非球面光学元件顶点的检测方法。基于三坐标检测仪精确测量得到非球面光学元件表面点坐标的特点，通过三坐标检测仪在非球面光学元件表面对角两侧任取两不同点测量出坐标值，根据这两点的坐标值通过一系列的演算，并根据演算结果进行再测量，最后应用迭代算法迭代检测顶点，直至检测到顶点的满足设定精度为止才停止测量，输出满足检测精度要求的顶点坐标，否则继续测量、演算、迭代。

公开(公告)号：CN101464141A

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：CN200910110852.5

申请日：2009-01-09

Applicant: 厦门大学

Inventor： 郭隐彪 ,  刘建春 ,  刘古今 ,  朱永炉

IPC: G01B11/24

Abstract: 一种非球面检测仪，涉及一种光学非球面检测设备。提供一种结合非接触式与接触式测量的优缺点，将接触式和非接触式测量融合在一起对非球面表面进行测量，通过两种方法相互补偿，以得到较高测量精度的非球面检测仪。设有结构架、检测平台、非接触激光位移测头、光栅接触式位移测头、XYZ三轴运动机构和控制装置，非接触激光位移测头和光栅接触式位移测头安装在XYZ三轴运动机构的Z轴上，检测平台设在X轴运动机构上；XYZ三轴运动机构上分别装有X轴马达、Y轴马达和Z轴马达，通过X轴马达、Y轴马达和Z轴马达带动XYZ三轴运动机构，从而实现非接触激光位移测头和光栅接触式位移测头的运动，对非球面光学元件实现三维测量。