公开(公告)号：CN112786502A

公开(公告)日：2021-05-11

申请号：CN202110191280.9

申请日：2021-02-19

Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司

Inventor： 肖遥 ,  陈笔宇 ,  程伟 ,  林志园 ,  张剑

IPC: H01L21/673

Abstract: 本发明提供了一种石墨载盘装置，包括载盘架及石墨载盘，载盘架包括若干支撑杆及分别用于连接各支撑杆两端的两块固定座，各支撑杆设有若干个连接凹槽，支撑杆的连接凹槽能够分别与其他支撑杆的一个连接凹槽形成一组定位凹槽，各连接凹槽底部设有卡槽，同一组定位凹槽的卡槽形成一组定位卡槽，石墨载盘能够垂直定位于一组定位凹槽，且石墨载盘的边沿凸出部能够定位于同一组定位凹槽的一组定位卡槽，本发明既可避免石墨载盘磕碰缺失，提升了石墨载盘的寿命；还防止石墨载盘不稳，倾斜在载盘架上；且卡槽与连接凹槽的侧壁距离设置，烘烤时气流可正常流通，改善了化学反应物去除不充分的问题，提升后续MOCVD制程时外延片的表面良率。

公开(公告)号：CN214588766U

公开(公告)日：2021-11-02

申请号：CN202120379849.X

申请日：2021-02-19

Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司

Inventor： 肖遥 ,  陈笔宇 ,  程伟 ,  林志园 ,  张剑

IPC: H01L21/673

Abstract: 本实用新型提供了一种石墨载盘装置，包括载盘架及石墨载盘，载盘架包括若干支撑杆及分别用于连接各支撑杆两端的两块固定座，各支撑杆设有若干个连接凹槽，支撑杆的连接凹槽能够分别与其他支撑杆的一个连接凹槽形成一组定位凹槽，各连接凹槽底部设有卡槽，同一组定位凹槽的卡槽形成一组定位卡槽，石墨载盘能够垂直定位于一组定位凹槽，且石墨载盘的边沿凸出部能够定位于同一组定位凹槽的一组定位卡槽，本实用新型既可避免石墨载盘磕碰缺失，提升了石墨载盘的寿命；还防止石墨载盘不稳，倾斜在载盘架上；且卡槽与连接凹槽的侧壁距离设置，烘烤时气流可正常流通，改善了化学反应物去除不充分的问题，提升后续MOCVD制程时外延片的表面良率。