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公开(公告)号：CN110233425B
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN201910644334.5
申请日：2019-07-17
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
IPC: H01S5/183
Abstract: 本发明提供一种VCSEL激光器及其制作方法，通过设置绝缘介质层、第一氧化层和第二氧化层对电流进行限制，被绝缘介质层环绕的透明导电层和第一欧姆接触层构成第一导电通道，第一氧化层具有第二导电通道，第二氧化层具有第三导电通道，且出光孔、第三导电通道、第二导电通道和第一导电通道在水平方向的尺寸依次减小，从而能够有效地将电流导向由第一导电通道、第二导电通道和第三导电通道限定的区域，提高激光效率。
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