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公开(公告)号:CN116169225A
公开(公告)日:2023-05-26
申请号:CN202310317679.6
申请日:2023-03-29
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种LED晶圆、转移基板、转移方法以及显示装置,通过在所述衬底背离所述LED芯粒的一侧表面设有垫高层,进一步地,所述垫高层环绕设置于所述晶圆的边缘。在后续转移过程中,将所述LED晶圆与所述转移基板对位键合时,所述垫高层用于缓解所述晶圆经外延生长后所引起的翘曲,使LED芯粒具有很好的一致性并与所述感应层平整地形成粘接,且所述感应层与衬底之间形成气体排出空间,从而在后续的衬底剥离过程中所产生的废气(如氮气等)可均匀地从所述气体排出空间排出,避免其对晶圆造成影响,同时保证衬底剥离过程中LED芯粒的一致性及剥离良率,藉以提高晶圆的可修复能力和转移良率。
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公开(公告)号:CN219937070U
公开(公告)日:2023-10-31
申请号:CN202320647685.3
申请日:2023-03-29
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
IPC: H01L33/44 , H01L25/075 , H01L21/683 , G09F9/33
Abstract: 本实用新型提供了一种LED晶圆、转移基板以及显示装置,通过在所述衬底背离所述LED芯粒的一侧表面设有垫高层,进一步地,所述垫高层环绕设置于所述晶圆的边缘。在后续转移过程中,将所述LED晶圆与所述转移基板对位键合时,所述垫高层用于缓解所述晶圆经外延生长后所引起的翘曲,使LED芯粒具有很好的一致性并与所述感应层平整地形成粘接,且所述感应层与衬底之间形成气体排出空间,从而在后续的衬底剥离过程中所产生的废气(如氮气等)可均匀地从所述气体排出空间排出,避免其对晶圆造成影响,同时保证衬底剥离过程中LED芯粒的一致性及剥离良率,藉以提高晶圆的可修复能力和转移良率。
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