公开(公告)号：CN103257064B

公开(公告)日：2019-01-08

申请号：CN201310158953.6

申请日：2013-02-17

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： H·斯特格曼

IPC: G01N1/28 ,  G01N1/44

Abstract: 本发明涉及通过光脉冲光来准备显微镜样品的方法和装置，其中大于100μm3的材料体积被清除。该方法包括以下步骤：通过扫描电子显微镜(SEM)或者聚焦离子束(FIB)检查物体，其中该检查包括记录物体的图像；在该物体中勾勒出待研究的区域；基于物体的图像勾勒出激光加工路径，使得可以从该物体准备出样品；采用沿着被勾勒的激光加工路径的激光加工，除去待蚀除的体积；以及通过扫描电子显微镜(SEM)或者聚焦离子束(FIB)检查该物体。

公开(公告)号：CN103257064A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201310158953.6

申请日：2013-02-17

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： H·斯特格曼

IPC: G01N1/28 ,  G01N1/44

CPC classification number: G01N23/04 ,  G01N1/286 ,  G01N1/32 ,  G01N2001/045 ,  G01N2001/2886 ,  H01J37/00 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/206 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及通过光脉冲来准备显微镜样品的方法和装置，其中大于100μm3的材料体积被清除。该方法包括以下步骤：通过扫描电子显微镜(SEM)或者聚焦离子束(FIB)检查物体，其中该检查包括记录物体的图像；在该物体中勾勒出待研究的区域；基于物体的图像勾勒出激光加工路径，使得可以从该物体准备出样品；采用沿着被勾勒的激光加工路径的激光加工，除去待蚀除的体积；以及通过扫描电子显微镜(SEM)或者聚焦离子束(FIB)检查该物体。