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发明公开
分束器组件、用于确定分束器组件的尺寸的方法和显微镜审中-实审

公开(公告)号：CN116609932A

公开(公告)日：2023-08-18

申请号：CN202310097275.0

申请日：2023-02-08

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： 托马斯·诺比斯 , 沃尔夫冈·巴特

IPC: G02B21/00 , G02B21/36 , G02B26/08

Abstract: 本发明涉及分束器组件、用于确定分束器组件的尺寸的方法和显微镜，用于布置在显微镜的光路的非准直部分内的分束器组件具有朝着光轴倾斜了倾斜角的第一板，和朝着光轴倾斜了倾斜角的第二板，其中，第一板和/或第二板用于辐射的耦入和/或耦出。根据本发明的分束器组件的特征在于，第一板的楔角、第二板的楔角和第二板的倾斜角彼此相协调，使得校正了光轴上的像散和像散在物场内的线性的场依赖性。

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