公开(公告)号：CN112833812B

公开(公告)日：2023-07-18

申请号：CN202011245194.3

申请日：2020-11-10

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： 阿姆托尔·曼努埃尔 ,  哈泽·丹尼尔 ,  斯蒂尔·多米尼克

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/06

Abstract: 用于确定样品(10)的高度图(10D)的方法包括以下步骤：获得样品(10)的高度测量数据；获得样品(10)的概览图(10A)；识别概览图(10A)中的特定的图像区域(11A，12A，13A，14A)；导出已识别的图像区域(11A，12A，13A，14A)的上下文信息；并且借助于上下文信息补充或改变高度测量数据。此外，描述一种设计用于执行该方法的测量仪器。

公开(公告)号：CN112833812A

公开(公告)日：2021-05-25

申请号：CN202011245194.3

申请日：2020-11-10

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： 阿姆托尔·曼努埃尔 ,  哈泽·丹尼尔 ,  斯蒂尔·多米尼克

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/06

Abstract: 用于确定样品(10)的高度图(10D)的方法包括以下步骤：获得样品(10)的高度测量数据；获得样品(10)的概览图(10A)；识别概览图(10A)中的特定的图像区域(11A，12A，13A，14A)；导出已识别的图像区域(11A，12A，13A，14A)的上下文信息；并且借助于上下文信息补充或改变高度测量数据。此外，描述一种设计用于执行该方法的测量仪器。