公开(公告)号：CN101010445A

公开(公告)日：2007-08-01

申请号：CN200580029483.7

申请日：2005-08-13

Applicant: 卡尔斯鲁厄研究中心股份有限公司

Inventor： S·乌尔里奇 ,  J·叶 ,  K·塞尔 ,  M·斯图伯

IPC: C23C16/34 ,  C23C14/06 ,  C23C30/00

CPC classification number: C23C16/342 ,  C23C14/0647 ,  C23C30/005 ,  Y10T428/12021 ,  Y10T428/12458 ,  Y10T428/12576 ,  Y10T428/24942 ,  Y10T428/31504

Abstract: 一种衬底上的分层复合物，其中分层复合物的至少一个单层包含立方氮化硼以及通过沉积来制造。任务是建议一种具有改进的粘附强度的这样的分层复合物。该任务由此来解决，即立方氮化硼包括在沉积期间被添加的氧。

公开(公告)号：CN101010445B

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN200580029483.7

申请日：2005-08-13

Applicant: 卡尔斯鲁厄研究中心股份有限公司

Inventor： S·乌尔里奇 ,  J·叶 ,  K·塞尔 ,  M·斯图伯

IPC: C23C16/34 ,  C23C14/06 ,  C23C30/00

CPC classification number: C23C16/342 ,  C23C14/0647 ,  C23C30/005 ,  Y10T428/12021 ,  Y10T428/12458 ,  Y10T428/12576 ,  Y10T428/24942 ,  Y10T428/31504

Abstract: 一种衬底上的分层复合物，其中分层复合物的至少一个单层包含立方氮化硼以及通过沉积来制造。任务是建议一种具有改进的粘附强度的这样的分层复合物。该任务由此来解决，即立方氮化硼包括在沉积期间被添加的氧。