公开(公告)号：CN107923928B

公开(公告)日：2020-07-17

申请号：CN201680028920.1

申请日：2016-05-12

申请人： 南洋理工大学

发明人： 霍峰蔚 ,  吴进

IPC分类号： G01Q90/00 ,  G01Q20/02 ,  B82Y35/00 ,  G01Q70/14 ,  G01Q70/06

摘要： 公开了一种用于检查样品表面的装置。所述装置包括：探针阵列，所述探针阵列包括基底以及自所述基底延伸而出的多个探针针尖，所述探针针尖包括透明且可变形的材料并用于接触所述样品表面；用于将所述探针阵列朝所述样品表面移动的致动器；用于通过透过所述基底的照明光对所述探针针尖进行照明的光源；以及用于检测所述探针针尖所反射的照明光的强度变化的图像捕获装置。

公开(公告)号：CN107923928A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201680028920.1

申请日：2016-05-12

申请人： 南洋理工大学

发明人： 霍峰蔚 ,  吴进

IPC分类号： G01Q90/00 ,  G01Q20/02 ,  B82Y35/00 ,  G01Q70/14 ,  G01Q70/06

摘要： 公开了一种用于检查样品表面的装置。所述装置包括：探针阵列，所述探针阵列包括基底以及自所述基底延伸而出的多个探针针尖，所述探针针尖包括透明且可变形的材料并用于接触所述样品表面；用于将所述探针阵列朝所述样品表面移动的致动器；用于通过透过所述基底的照明光对所述探针针尖进行照明的光源；以及用于检测所述探针针尖所反射的照明光的强度变化的图像捕获装置。