发明公开
CN107923928A 检查样品表面的装置和方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 检查样品表面的装置和方法
- 专利标题(英): Apparatus and methods for investigating a sample surface
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申请号: CN201680028920.1申请日: 2016-05-12
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公开(公告)号: CN107923928A公开(公告)日: 2018-04-17
- 发明人: 霍峰蔚 , 吴进
- 申请人: 南洋理工大学
- 申请人地址: 新加坡国新加坡市
- 专利权人: 南洋理工大学
- 当前专利权人: 南洋理工大学
- 当前专利权人地址: 新加坡国新加坡市
- 代理机构: 上海思微知识产权代理事务所
- 代理商 智云
- 国际申请: PCT/SG2016/050220 2016.05.12
- 国际公布: WO2016/186573 EN 2016.11.24
- 进入国家日期: 2017-11-17
- 主分类号: G01Q90/00
- IPC分类号: G01Q90/00 ; G01Q20/02 ; B82Y35/00 ; G01Q70/14 ; G01Q70/06
摘要:
公开了一种用于检查样品表面的装置。所述装置包括:探针阵列,所述探针阵列包括基底以及自所述基底延伸而出的多个探针针尖,所述探针针尖包括透明且可变形的材料并用于接触所述样品表面;用于将所述探针阵列朝所述样品表面移动的致动器;用于通过透过所述基底的照明光对所述探针针尖进行照明的光源;以及用于检测所述探针针尖所反射的照明光的强度变化的图像捕获装置。
公开/授权文献
- CN107923928B 检查样品表面的装置和方法 公开/授权日:2020-07-17