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公开(公告)号：CN112080724B
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202010922582.4
申请日：2020-09-04
申请人： 南昌航空大学
摘要： 本发明公开了一种防腐耐磨多组元硬质复合涂层的制备方法，以提高基体材料的使用寿命，解决基体材料硬度低、不耐磨、不耐蚀的问题，方法：一、基体的前处理；二、镀层前准备；三、离子注入氮化层的制备；四、ZrAl层的制备；五、ZrAlN层的制备；六、TiSiAlZrN层的制备；七、TiSiAlZrCN层的制备，本发明将离子注入与磁控溅射技术结合，将直流电源、偏压电源和脉冲电源结合在一起制备复合涂层，简单，制备周期短，沉积效率高，涂层与基体结合强度高，涂层致密，性能优异，这对于镁合金、高速钢、钛合金等多种基体表面性能的提高以及扩大基体材料的应用，减少磨损和腐蚀消耗，节约资源等方面有着重要意义和前景。
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公开(公告)号：CN112359319B
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202011058562.3
申请日：2020-09-30
申请人： 南昌航空大学
摘要： 一种制备方法，本发明是要解决现有镁合金、钛合金等金属基体表面硬度低、不耐磨，所制备的薄膜韧性差的问题。方法：一、基体前处理；二、镀膜前准备；三、制备Ti‑Cu打底层；四、制备TiCuN中间层；五、制备Ti‑Si‑Cu缓冲层；六、制备TiCuSiN硬质层；七、按照上述三、四、五、六步骤反复一次，制备第二个周期的薄膜，得到两个周期共八层复合的薄膜，本方法将直流电源、偏压电源和射频电源结合在磁控溅射技术中，相对于其他周期类薄膜生产和制备的周期短、效率高、性能好，是一种低应力、高韧性、兼具有良好耐磨和抗菌的纳米级复合薄膜的制备方法。
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公开(公告)号：CN112080724A
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN202010922582.4
申请日：2020-09-04
申请人： 南昌航空大学
摘要： 本发明公开了一种防腐耐磨多组元硬质复合涂层的制备方法，以提高基体材料的使用寿命，解决基体材料硬度低、不耐磨、不耐蚀的问题，方法：一、基体的前处理；二、镀层前准备；三、离子注入氮化层的制备；四、ZrAl层的制备；五、ZrAlN层的制备；六、TiSiAlZrN层的制备；七、TiSiAlZrCN层的制备，本发明将离子注入与磁控溅射技术结合，将直流电源、偏压电源和脉冲电源结合在一起制备复合涂层，简单，制备周期短，沉积效率高，涂层与基体结合强度高，涂层致密，性能优异，这对于镁合金、高速钢、钛合金等多种基体表面性能的提高以及扩大基体材料的应用，减少磨损和腐蚀消耗，节约资源等方面有着重要意义和前景。
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公开(公告)号：CN112359319A
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN202011058562.3
申请日：2020-09-30
申请人： 南昌航空大学
摘要： 一种制备方法，本发明是要解决现有镁合金、钛合金等金属基体表面硬度低、不耐磨，所制备的薄膜韧性差的问题。方法：一、基体前处理；二、镀膜前准备；三、制备Ti‑Cu打底层；四、制备TiCuN中间层；五、制备Ti‑Si‑Cu缓冲层；六、制备TiCuSiN硬质层；七、按照上述三、四、五、六步骤反复一次，制备第二个周期的薄膜，得到两个周期共八层复合的薄膜，本方法将直流电源、偏压电源和射频电源结合在磁控溅射技术中，相对于其他周期类薄膜生产和制备的周期短、效率高、性能好，是一种低应力、高韧性、兼具有良好耐磨和抗菌的纳米级复合薄膜的制备方法。
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