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发明公开
一种分子膜光电晶体管及其制备方法

公开(公告)号：CN118973360A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202411443451.2

申请日：2024-10-16

申请人： 南开大学

发明人： 贾传成 , 常新月 , 司伟 , 韦枭

IPC分类号： H10K71/60 , H10K30/65 , H10K30/81 , H10K30/88 , H10K71/00

摘要： 本发明涉及晶体管制备技术领域，提供一种分子膜光电晶体管及其制备方法，该方法包括：在衬底上旋涂光刻胶，对衬底依次进行曝光处理和蒸镀处理，获得包含金属电极的第一中间物；在第一中间物上自组装光敏分子膜，获得第二中间物；制备生长有单层石墨烯的第三中间物；制备包含石墨烯条带的第四中间物；制备包含石墨烯金属电极的第五中间物；在第五中间物上旋涂聚甲基丙烯酸甲酯，浸泡于三氯化铁盐酸溶液中，刻蚀去除铜箔，清洗，获得第六中间物；将第六中间物置于第二中间物上，获得分子膜光电晶体管。本发明实现快速制备成本低、环境稳定性高、制备工艺简单和良品率高的分子膜光电晶体管。