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公开(公告)号：CN108196425A
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201810046179.2
申请日：2018-01-17
Applicant: 南开大学
IPC: G03F7/00
Abstract: 一种纳米压印衬底固化装置，包括基座，所述基座上以矩形阵列方式开设有多个固定槽，所述的固定槽内设置有升降机构，所述的升降机构的升降部端部设置有衬底片，所述的衬底片上设置有压印胶层，相邻两个固定槽之间设置有分光装置，所述的固定槽的槽壁上设置有用于透光的透光部所述分光装置的底部设置有紫外线光源。本发明拥有固化时间短，固化效果好，且固化过程中紫外线不外射便于操作人员操作的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108196425B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201810046179.2
申请日：2018-01-17
Applicant: 南开大学
IPC: G03F7/00
Abstract: 一种纳米压印衬底固化装置，包括基座，所述基座上以矩形阵列方式开设有多个固定槽，所述的固定槽内设置有升降机构，所述的升降机构的升降部端部设置有衬底片，所述的衬底片上设置有压印胶层，相邻两个固定槽之间设置有分光装置，所述的固定槽的槽壁上设置有用于透光的透光部所述分光装置的底部设置有紫外线光源。本发明拥有固化时间短，固化效果好，且固化过程中紫外线不外射便于操作人员操作的优点。
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公开(公告)号：CN108267930B
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN201810046199.X
申请日：2018-01-17
Applicant: 南开大学
IPC: G03F7/00
Abstract: 一种固化纳米压印装置，包括压印辊、基座安装台以及压印操作室，所述的压印辊的转动轴与伸缩装置转动连接，所述伸缩装置与所述压印操作室的顶部连接，所述基座安装台设置于所述压印辊下方，所述压印操作室内设置有用于向所述基座安装台输送基座板的输送轨道，所述压印操作室上设置有仅在所述压印操作室内紫外线强度小于50W/㎡时才开启的自动门，所述压印操作室上仅设置所述自动门一个进入口。本发明通过拥有固化均匀，固化效果好，操作安全性高的优点。
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公开(公告)号：CN108153110A
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201810046484.1
申请日：2018-01-17
Applicant: 南开大学
Abstract: 一种紫外光固化纳米压印的方法，包括以下步骤，步骤一，压印材料附着，将压印材料涂覆在压印模具的压印部的表面；步骤二，紫外线初次固化，在18℃～22℃环境温度下对所述压印模具的压印部表面进行紫外线照射，固化所述压印材料；步骤三，预压印，对基板进行加热，并保持所述基板温度在60℃～70℃，而后使用预压模具对所述基板表面进行预压以对所述基板表面增加预压纹；步骤四，压印固化，加热所述基板至80℃～100℃后使用所述压印模具对所述基板进行压印，而后使用紫外线对所述基板进行曝光固化。本发明通过加热法与紫外线固化法按照步序进行操作，从而提高固化的效果。
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公开(公告)号：CN108267930A
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：CN201810046199.X
申请日：2018-01-17
Applicant: 南开大学
IPC: G03F7/00
Abstract: 一种固化纳米压印装置，包括压印辊、基座安装台以及压印操作室，所述的压印辊的转动轴与伸缩装置转动连接，所述伸缩装置与所述压印操作室的顶部连接，所述基座安装台设置于所述压印辊下方，所述压印操作室内设置有用于向所述基座安装台输送基座板的输送轨道，所述压印操作室上设置有仅在所述压印操作室内紫外线强度小于50W/㎡时才开启的自动门，所述压印操作室上仅设置所述自动门一个进入口。本发明通过拥有固化均匀，固化效果好，操作安全性高的优点。
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